Ese | Tehniline vara |
Kõrge puhtusastmega neoon | |
Neooni (Ne) puhtus (mahufraktsioon)/10-2≥ | 99.999 |
Heeliumi (He) sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 6 |
Vesinik (H2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 1 |
Hapnik+argoon (arvutatud hapniku järgi) (O2+Ar) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 1 |
Lämmastik (N2) sisaldus (mahuosa) zz/10-6≤ | 2 |
Süsinikmonooksiidi (CO) sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 0,2 |
Süsinikdioksiid (CO2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,2 |
Metaan (CH4) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 0,1 |
Vesi (H2O) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 2 |
Lisandite kogusisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 10 |