פָּרִיט | נכס טכני |
ניאון טוהר גבוה | |
טוהר ניאון (Ne) (חלק נפחי)/10-2≥ | 99.999 |
תכולת הליום (He) (חלק נפחי)/10-6≤ | 6 |
מימן (H2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 1 |
חמצן+ארגון (מחושב על ידי חמצן) (O2תכולת +Ar) (חלק נפחי)/10-6≤ | 1 |
חנקן (N2) תוכן (חלק נפחי) zz/10-6≤ | 2 |
תכולת פחמן חד-חמצני (CO) (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.2 |
פחמן דו-חמצני (CO2) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.2 |
מתאן (CH4) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 0.1 |
מים (H2O) תוכן (חלק נפחי)/10-6≤ | 2 |
תכולת טומאה כוללת (חלק נפחי)/10-6≤ | 10 |