Элемент | Техникалық мүлік |
Тазалығы жоғары неон | |
Неон (Ne) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99.999 |
Гелий (He) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 6 |
Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 |
Оттегі+аргон (оттегімен есептелген) (О2+Ar) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 |
Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес) zz/10-6≤ | 2 |
Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.2 |
Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.2 |
Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.1 |
Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 2 |
Қоспаның жалпы мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 10 |