Punkt | Teknisk egenskap |
Neon med hög renhet | |
Neon (Ne) renhet (volymfraktion)/10-2≥ | 99,999 |
Heliumhalt (He) (volymfraktion)/10-6≤ | 6 |
Väte (H2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 1 |
Syre+argon (beräknat med syre) (O2+Ar)-halt (volymfraktion)/10-6≤ | 1 |
Kväve (N2) innehåll (volymfraktion) zz/10-6≤ | 2 |
Kolmonoxid (CO)-halt (volymfraktion)/10-6≤ | 0,2 |
Koldioxid (CO2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,2 |
Metan (CH4) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,1 |
Vatten (H2O) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 2 |
Totalt föroreningsinnehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 10 |