Öğe | Teknik Mülkiyet |
Yüksek saflıkta neon | |
Neon (Ne) saflığı (hacim oranı)/10-2≥ | 99.999 |
Helyum (He) içeriği (hacim kesri)/10-6≤ | 6 |
Hidrojen (H2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 1 |
Oksijen+argon (oksijenle hesaplanır) (O2+Ar) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 1 |
Azot (N)2) içerik (hacim kesri) zz/10-6≤ | 2 |
Karbon monoksit (CO) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 0,2 |
Karbondioksit (CO2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 0,2 |
Metan (CH4) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 0,1 |
Su (H)2O) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 2 |
Toplam safsızlık içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 10 |