Item | Properti Teknis | ||
Oksigen resik | Oksigen kemurnian dhuwur | Oksigen ultrapure | |
Oksigen (O2) kemurnian (fraksi volume)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrogen (H2) isi (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Kandungan Argon (Ar) (fraksi volume)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Nitrogen (N2) isi (fraksi volume)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbon dioksida (CO2) isi (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Isi hidrokarbon total (fraksi volume) (diwilang nganggo metana)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Banyu (H2O) isi (fraksi volume)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Bidang aplikasi: utamane digunakake kanggo nyiapake campuran gas standar, riset ilmiah, produksi sirkuit terpadu lan piranti semikonduktor, lan lapangan liyane kanthi syarat dhuwur kanggo kemurnian oksigen.