Barang | Harta Téknis | ||
Oksigén murni | oksigén purity tinggi | Oksigén ultrapure | |
Oksigén (O2) purity (volume fraksi) / 10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrogen (H2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Argon (Ar) eusi (volume fraksi)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Nitrogén (N2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbon dioksida (CO2) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Total eusi hidrokarbon (volume fraksi) (diitung ku métana)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Cai (H2O) eusi (fraksi volume)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Widang aplikasi: utamana dipaké dina persiapan campuran gas baku, panalungtikan ilmiah, produksi sirkuit terpadu jeung alat semikonduktor, sarta widang séjénna kalawan sarat tinggi pikeun purity oksigén.