Ставка | Технички имот |
Хелиум со висока чистота | |
Чистота на хелиум He (волуменски удел)/10-2≥ | 99.999 |
Содржина на неон (Ne) (волуменски удел)/10-6≤ | 4 |
Водород (H2) содржина (волуменски удел)/10-6 ≤ | 1 |
Кислород (O2) содржина (волуменски удел)/10-6 ≤ | 1 |
Содржина на аргон (Ar) (волуменски удел)/10-6 ≤ | |
Азот (N2) содржина (волуменски удел)/10-6 ≤ | 2 |
Содржина на јаглерод моноксид (CO) (волуменски удел)/10-6≤ | 0,5 |
Јаглерод диоксид (CO2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,5 |
Метан (CH4) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 0,5 |
Вода Х2Содржина на O (волуменски удел)/10-6≤ | 3 |
Вкупна содржина на списание/10-6≤ | 10 |