Tetrafluormetaan, ook bekend as koolstoftetrafluoried, is die eenvoudigste fluorkoolstof (CF4). Dit het 'n baie hoë bindingssterkte as gevolg van die aard van die koolstof-fluorbinding. Dit kan ook geklassifiseer word as 'n haloalkaan of halometaan. As gevolg van die veelvuldige koolstof-fluorbindings, en die hoogste elektronegatiwiteit van fluoor, het die koolstof in tetrafluormetaan 'n beduidende positiewe gedeeltelike lading wat die vier koolstof-fluorbindings versterk en verkort deur addisionele ioniese karakter te verskaf. Tetrafluormetaan is 'n kragtige kweekhuisgas.
Tetrafluormetaan word soms as 'n laetemperatuur-koelmiddel gebruik. Dit word in elektroniese mikrovervaardiging alleen of in kombinasie met suurstof as 'n plasma-etsmiddel vir silikon, silikondioksied en silikonnitried gebruik.
Chemiese formule | CF4 | Molekulêre gewig | 88 |
CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS-nr. | 200-896-5 |
Smeltpunt | -184℃ | Boling punt | -128.1℃ |
oplosbaarheid | Onoplosbaar in water | Digtheid | 1.96g/cm³ (-184℃) |
Voorkoms | 'n Kleurlose, reuklose, nie-vlambare, saampersbare gas | Toepassing | word gebruik in plasma-etsprosesse vir verskeie geïntegreerde stroombane, en word ook gebruik as lasergas, koelmiddel, ens. |
DOT ID-nommer | VN1982 | DOT/IMO VERSENDINGSNAAM: | Tetrafluormetaan, saamgeperste of verkoelingsgas R14 |
DOT Gevaarklas | Klas 2.2 |
Item | Waarde, graad I | Waarde, graad II | Eenheid |
Suiwerheid | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | dpmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | dpmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | dpmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | dpmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | dpmv |
Ander fluorkoolstowwe | ≤1.0 | ≤0.5 | dpmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | dpmv |
H2 | ≤1.0 | —— | dpmv |
Suurheid | ≤0.1 | ≤0.1 | dpmv |
*ander fluorkoolstowwe verwys na C2F6C3F8 |
Notas
1) al die tegniese data hierbo aangedui is vir u verwysing.
2) alternatiewe spesifikasies is welkom vir verdere bespreking.