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Tetrafluoruro de carbono
El tetrafluorometano, también conocido como tetrafluoruro de carbono, es el fluorocarbono (CF4) más simple.Tiene una fuerza de unión muy alta debido a la naturaleza del enlace carbono-flúor.También se puede clasificar como haloalcano o halometano.Debido a los múltiples enlaces carbono-flúor y a la mayor electronegatividad del flúor, el carbono del tetrafluorometano tiene una carga parcial positiva significativa que fortalece y acorta los cuatro enlaces carbono-flúor al proporcionar un carácter iónico adicional.El tetrafluorometano es un potente gas de efecto invernadero.
A veces se utiliza tetrafluorometano como refrigerante de baja temperatura.Se utiliza en microfabricación electrónica solo o en combinación con oxígeno como grabador de plasma para silicio, dióxido de silicio y nitruro de silicio.
| Fórmula química | CF4 | Peso molecular | 88 |
| No CAS. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Punto de fusion | -184 ℃ | punto de boling | -128,1 ℃ |
| solubilidad | Insoluble en agua | Densidad | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Apariencia | Gas incoloro, inodoro, no inflamable y comprimible. | Solicitud | Se utiliza en el proceso de grabado por plasma para varios circuitos integrados y también se utiliza como gas láser, refrigerante, etc. |
| Número de identificación del DOT | ONU1982 | NOMBRE DE ENVÍO DOT/IMO: | Tetrafluorometano, gas comprimido o refrigerante R14 |
| Clase de peligro del DOT | Clase 2.2 |
| Artículo | Valor, grado I | Valor, grado II | Unidad |
| Pureza | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Otros fluorocarbonos | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidez | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *otros fluorocarbonos se refieren a C2F6,C3F8 | |||
Notas
1) todos los datos técnicos indicados anteriormente son para su referencia.
2) Se aceptan especificaciones alternativas para mayor discusión.
