Proizvodi
Ugljikov tetrafluorid
Tetrafluorometan, poznat i kao ugljikov tetrafluorid, najjednostavniji je fluorougljik (CF4).Ima vrlo visoku čvrstoću lijepljenja zbog prirode veze ugljik-fluor.Također se može klasificirati kao haloalkan ili halometan.Zbog višestrukih veza ugljik-fluor i najveće elektronegativnosti fluora, ugljik u tetrafluorometanu ima značajan pozitivni parcijalni naboj koji jača i skraćuje četiri veze ugljik-fluor dajući dodatni ionski karakter.Tetrafluorometan je snažan staklenički plin.
Tetrafluorometan se ponekad koristi kao rashladno sredstvo niske temperature.Koristi se u mikroproizvodnji elektronike sam ili u kombinaciji s kisikom kao plazma jetkač za silicij, silicij dioksid i silicij nitrid.
| Kemijska formula | CF4 | Molekularna težina | 88 |
| CAS br. | 75-73-0 | EINECS br. | 200-896-5 |
| Talište | -184 ℃ | Boling point | -128,1 ℃ |
| topljivost | Netopljivo u vodi | Gustoća | 1,96 g/cm³（-184℃） |
| Izgled | Bezbojan plin bez mirisa, nezapaljiv, kompresibilan | Primjena | koristi se u procesu plazma jetkanja za različite integrirane sklopove, a koristi se i kao laserski plin, rashladno sredstvo itd. |
| DOT ID broj | UN1982 | DOT/IMO NAZIV ZA DOSTAVU: | Tetrafluorometan, stlačeni ili rashladni plin R14 |
| DOT klasa opasnosti | Razred 2.2 |
| Artikal | Vrijednost, stupanj I | Vrijednost, ocjena II | Jedinica |
| Čistoća | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Ostali fluorougljici | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kiselost | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *ostali fluorougljici odnose se na C2F6、C3F8 | |||
Bilješke
1) svi gore navedeni tehnički podaci služe za vašu referencu.
2) alternativna specifikacija je dobrodošla za daljnju raspravu.
