Products
Koalstoftetrafluoride
Tetrafluormethane, ek bekend as koalstoftetrafluoride, is de ienfâldichste fluorocarbon (CF4).It hat in heul hege bânsterkte troch de aard fan 'e koalstof-fluorbân.It kin ek wurde klassifisearre as in haloalkaan of halomethaan.Fanwegen de meardere koalstof-fluorobligaasjes, en de heechste elektronegativiteit fan fluor, hat de koalstof yn tetrafluormethane in signifikante positive diellading dy't de fjouwer koalstof-fluorobligaasjes fersterket en ferkoartet troch ekstra ionysk karakter te leverjen.Tetrafluormethane is in krêftich broeikasgas.
Tetrafluormethane wurdt soms brûkt as koelmiddel mei lege temperatuer.It wurdt brûkt yn elektroanika mikrofabrication allinnich of yn kombinaasje mei soerstof as plasma etsmiddel foar silisium, silisium dioxide, en silisium nitride.
| Gemyske formule | CF4 | Molekuul gewicht | 88 |
| CAS nr. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Smeltpunt | -184 ℃ | Boling punt | -128.1 ℃ |
| oplosberens | Unoplosber yn wetter | Tichtheid | 1.96g/cm³ (-184 ℃) |
| Ferskining | In kleurleas, reukloos, net-flammabel, kompressibel gas | Oanfraach | brûkt yn plasma-etsproses foar ferskate yntegreare circuits, en ek brûkt as lasergas, koelmiddel ensfh. |
| DOT ID nûmer | UN 1982 | DOT / IMO SHIPPING NAME: | Tetrafluormethane, komprimearre of koelgas R14 |
| DOT Hazard Class | Klasse 2.2 |
| Ûnderdiel | Waarde, klasse I | Wearde, klasse II | Ienheid |
| Purity | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0.2 | ppmv |
| Oare fluorocarbons | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Acidity | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *oare fluorkoolstoffen ferwize nei C2F6, C3F8 | |||
Notysjes
1) alle technyske gegevens hjirboppe oanjûn binne foar jo referinsje.
2) alternative spesifikaasje is wolkom foar fierdere diskusje.
