Məhsullar
Karbon tetraflorid
Karbon tetraflorid kimi də tanınan tetrafluorometan ən sadə flüorokarbondur (CF4).Karbon-flüor bağının təbiətinə görə çox yüksək bağlanma gücünə malikdir.O, həmçinin haloalkan və ya halometan kimi təsnif edilə bilər.Çoxsaylı karbon-ftor bağları və flüorun ən yüksək elektronmənfiliyi səbəbindən tetrafluorometanda olan karbon əlavə ion xarakteri təmin etməklə dörd karbon-ftor bağını gücləndirən və qısaldan əhəmiyyətli müsbət qismən yükə malikdir.Tetraflorometan güclü istixana qazıdır.
Tetraflorometan bəzən aşağı temperaturlu soyuducu kimi istifadə olunur.Elektron mikrofabrikasında tək və ya oksigenlə birlikdə silikon, silikon dioksid və silisium nitridi üçün plazma aşındırıcısı kimi istifadə olunur.
| Kimyəvi formula | CF4 | Molekulyar çəki | 88 |
| CAS nömrəsi | 75-73-0 | EINECS nömrəsi | 200-896-5 |
| Ərimə nöqtəsi | -184℃ | Bolinq nöqtəsi | -128,1 ℃ |
| həlledicilik | Suda həll olunmur | Sıxlıq | 1,96 q/sm³ (-184 ℃) |
| Görünüş | Rəngsiz, qoxusuz, alışmayan, sıxıla bilən qaz | Ərizə | müxtəlif inteqral sxemlər üçün plazma aşındırma prosesində istifadə olunur və həmçinin lazer qazı, soyuducu və s. kimi istifadə olunur. |
| DOT ID nömrəsi | UN1982 | DOT/IMO GÖNDƏRİLMƏ ADI: | Tetrafluorometan, Sıxılmış və ya Soyuducu Qaz R14 |
| DOT təhlükə sinfi | Sinif 2.2 |
| Maddə | Dəyər, I dərəcə | Dəyər, II dərəcə | Vahid |
| Saflıq | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Digər flüorokarbonlar | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Turşuluq | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *digər flüorokarbonlar C-yə aiddir2F6、C3F8 | |||
Qeydlər
1) yuxarıda göstərilən bütün texniki məlumatlar sizin istinad üçündür.
2) alternativ spesifikasiya əlavə müzakirə üçün xoşdur.
