Products
Karbon Tetrafluoride
Tetrafluoromethane, ku wekî karbon tetrafluoride jî tê zanîn, fluorokarbona herî hêsan (CF4) ye.Ji ber xwezaya girêdana karbon-fluorînê hêzek girêdana wê pir zêde ye.Ew dikare wekî haloalkane an halomethane jî were dabeş kirin.Ji ber gelek girêdanên karbon-fluorînê, û elektronegatîvîteya herî bilind a fluorînê, karbona di tetrafluoromethane de xwedan barek parçeyek erênî ya girîng e ku bi peydakirina karaktera îyonî ya zêde çar girêkên karbon-fluorînê xurt dike û kurt dike.Tetrafluoromethane gaza serayê ya bi hêz e.
Tetrafluoromethane carinan wekî sarincek germahiya nizm tê bikar anîn.Ew di mîkrofabrîkasyona elektronîkî de tenê an jî bi oksîjenê re wekî etchantek plazmayê ji bo silicon, silicon dioxide, û silicon nitride tê bikar anîn.
| Formula kîmyewî | CF4 | Giraniya molekulî | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Xala helandinê | -184℃ | xala Boling | -128.1℃ |
| solubility | Di avê de nayê çareserkirin | Density | 1,96g/cm³(-184℃) |
| Xuyabûnî | Gazek bê reng, bê bîhn, naşewitî û tê pêçandin | Bikaranînî | di pêvajoya etching plazmayê de ji bo cûrbecûr cûrbecûr yekbûyî tê bikar anîn, û di heman demê de wekî gaza lazer, sarinc û hwd jî tê bikar anîn. |
| Hejmara ID DOT | UN1982 | NAVÊ ŞANDIYÊ DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, gaza pêçandî an sarincê R14 |
| DOT Hazard Class | Dersa 2.2 |
| Şanî | Nirx, pola I | Nirx, pola II | Yekbûn |
| Paqijiyê | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorocarbonên din | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —- | ppmv |
| Acidity | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| * fluorocarbonên din ji C re vedibêjin2F6、C3F8 | |||
Têbînî
1) Hemî daneyên teknîkî yên ku li jor hatine destnîşan kirin ji bo referansa we ne.
2) taybetmendiya alternatîf ji bo nîqaşê bêtir bi xêr hatî.
