Продукти
Въглероден тетрафлуорид
Тетрафлуорометанът, известен също като въглероден тетрафлуорид, е най-простият флуоровъглерод (CF4).Има много висока якост на свързване поради естеството на връзката въглерод-флуор.Може също да се класифицира като халоалкан или халометан.Поради множеството въглерод-флуорни връзки и най-високата електроотрицателност на флуора, въглеродът в тетрафлуорометана има значителен положителен частичен заряд, който укрепва и скъсява четирите въглерод-флуорни връзки, като осигурява допълнителен йонен характер.Тетрафлуорометанът е мощен парников газ.
Тетрафлуорометанът понякога се използва като нискотемпературен хладилен агент.Използва се в микропроизводството на електроника самостоятелно или в комбинация с кислород като плазмено ецващо средство за силиций, силициев диоксид и силициев нитрид.
| Химична формула | CF4 | Молекулно тегло | 88 |
| CAS номер | 75-73-0 | EINECS № | 200-896-5 |
| Точка на топене | -184 ℃ | Болинг точка | -128,1 ℃ |
| разтворимост | Неразтворим във вода | Плътност | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Външен вид | Безцветен, без мирис, незапалим, компресируем газ | Приложение | използва се в процеса на плазмено ецване за различни интегрални схеми и се използва също като лазерен газ, хладилен агент и др. |
| DOT ID номер | UN1982 | DOT/IMO ИМЕ ЗА ДОСТАВКА: | Тетрафлуорометан, сгъстен или хладилен газ R14 |
| Клас на опасност по DOT | Клас 2.2 |
| Вещ | Стойност, I степен | Стойност, степен II | Мерна единица |
| Чистота | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Други флуоровъглеводороди | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Киселинност | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *други флуоровъглероди се отнасят до C2F6,° С3F8 | |||
Бележки
1) всички технически данни, посочени по-горе, са за ваша справка.
2) алтернативна спецификация е добре дошла за по-нататъшно обсъждане.
