Tuotteet
Hiilitetrafluoridi
Tetrafluorimetaani, joka tunnetaan myös hiilitetrafluoridina, on yksinkertaisin fluorihiilivety (CF4).Sillä on erittäin korkea sidoslujuus hiili-fluorisidoksen luonteen vuoksi.Se voidaan myös luokitella halogeenialkaaniksi tai halometaaniksi.Useiden hiili-fluorisidosten ja fluorin korkeimman elektronegatiivisuuden ansiosta tetrafluorimetaanissa olevalla hiilellä on merkittävä positiivinen osavaraus, joka vahvistaa ja lyhentää neljää hiili-fluorisidosta tarjoamalla lisää ionista luonnetta.Tetrafluorimetaani on voimakas kasvihuonekaasu.
Tetrafluorimetaania käytetään joskus matalan lämpötilan kylmäaineena.Sitä käytetään elektroniikan mikrovalmistuksessa yksinään tai yhdessä hapen kanssa plasmaetsausaineena piille, piidioksidille ja piinitridille.
| Kemiallinen kaava | CF4 | Molekyylipaino | 88 |
| CAS-nro | 75-73-0 | EINECS nro | 200-896-5 |
| Sulamispiste | -184 ℃ | Boling piste | -128,1 ℃ |
| liukoisuus | Ei liukene veteen | Tiheys | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Ulkomuoto | Väritön, hajuton, syttymätön, kokoonpuristuva kaasu | Sovellus | käytetään plasmaetsausprosessissa erilaisille integroiduille piireille ja käytetään myös laserkaasuna, kylmäaineena jne. |
| DOT ID-numero | UN1982 | DOT/IMO TOIMITUSNIMI: | Tetrafluorimetaani, puristettu tai kylmäainekaasu R14 |
| DOT-vaaraluokka | Luokka 2.2 |
| Tuote | Arvo, luokka I | Arvo, luokka II | Yksikkö |
| Puhtaus | ≥ 99 999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Muut fluorihiilivedyt | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Happamuus | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *muut fluorihiilivedyt viittaavat C:hen2F6、C3F8 | |||
Huomautuksia
1) kaikki yllä mainitut tekniset tiedot ovat viitteellisiä.
2) vaihtoehtoinen spesifikaatio on tervetullut jatkokeskusteluun.
