Производи
Јаглерод тетрафлуорид
Тетрафлуорометан, исто така познат како јаглерод тетрафлуорид, е наједноставниот флуоројаглерод (CF4).Има многу висока јачина на врзување поради природата на врската јаглерод-флуор.Може да се класифицира и како халоалкан или халометан.Поради повеќекратните врски јаглерод-флуор и најголемата електронегативност на флуорот, јаглеродот во тетрафлуорометан има значително позитивно парцијално полнење кое ги зајакнува и скратува четирите јаглерод-флуор врски обезбедувајќи дополнителен јонски карактер.Тетрафлуорометан е моќен стакленички гас.
Тетрафлуорометан понекогаш се користи како средство за ладење со ниска температура.Се користи во микрофабрикацијата на електрониката сам или во комбинација со кислород како плазма окопувач за силициум, силициум диоксид и силициум нитрид.
| Хемиска формула | CF4 | Молекуларна тежина | 88 |
| CAS бр. | 75-73-0 | EINECS бр. | 200-896-5 |
| Точка на топење | -184℃ | Точка на болинг | -128,1 ℃ |
| растворливост | Нерастворлив во вода | Густина | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Изглед | Безбоен, без мирис, незапалив гас што може да се компресира | Апликација | се користи во процесот на плазма офорт за различни интегрирани кола, а се користи и како ласерски гас, средство за ладење итн. |
| DOT ID број | ОН 1982 година | ИМЕ НА ИСПОРАКА DOT/IMO: | Тетрафлуорометан, компримиран или ладилен гас R14 |
| Класа на опасност DOT | Класа 2.2 |
| Ставка | Вредност, одделение I | Вредност II одделение | Единица |
| Чистота | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Други флуоројаглероди | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Киселост | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *другите флуоројаглероди се однесуваат на C2F6、C3F8 | |||
Белешки
1) сите технички податоци наведени погоре се за ваша референца.
2) алтернативната спецификација е добредојдена за понатамошна дискусија.
