Proizvodi
Ugljikov tetrafluorid
Tetrafluorometan, također poznat kao ugljikov tetrafluorid, najjednostavniji je fluorougljik (CF4). Ima vrlo visoku čvrstoću veze zbog prirode veze ugljik-fluor. Može se klasificirati i kao haloalkan ili halometan. Zbog višestrukih veza ugljik-fluor i najveće elektronegativnosti fluora, ugljik u tetrafluorometanu ima značajno pozitivno parcijalno naboje koje jača i skraćuje četiri veze ugljik-fluor pružajući dodatni ionski karakter. Tetrafluorometan je snažan staklenički plin.
Tetrafluorometan se ponekad koristi kao rashladno sredstvo na niskim temperaturama. Koristi se u mikrofabrikaciji elektronike samostalno ili u kombinaciji s kisikom kao plazma sredstvo za nagrizanje silicija, silicij-dioksida i silicij-nitrida.
| Hemijska formula | CF4 | Molekularna težina | 88 |
| CAS broj | 75-73-0 | EINECS broj | 200-896-5 |
| Tačka topljenja | -184℃ | Tačka ključanja | -128,1℃ |
| rastvorljivost | Nerastvorljivo u vodi | Gustoća | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Izgled | Bezbojan, bez mirisa, nezapaljiv, kompresibilan plin | Primjena | Koristi se u procesu plazma nagrizanja za različite integrirane krugove, a koristi se i kao laserski plin, rashladno sredstvo itd. |
| DOT identifikacijski broj | UN1982 | DOT/IMO NAZIV ZA OTPREMU: | Tetrafluorometan, komprimirani ili rashladni plin R14 |
| Klasa opasnosti DOT-a | Klasa 2.2 |
| Stavka | Vrijednost, ocjena I | Vrijednost, II stepen | Jedinica |
| Čistoća | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Ostali fluorougljici | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kiselost | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *ostali fluorougljici odnose se na C2F6C3F8 | |||
Bilješke
1) svi gore navedeni tehnički podaci su za vašu referencu.
2) alternativna specifikacija je dobrodošla za daljnju diskusiju.
