Productes
Tetrafluorur de carboni
El tetrafluorometà, també conegut com a tetrafluorur de carboni, és el fluorocarboni (CF4) més simple. Té una força d'enllaç molt alta a causa de la naturalesa de l'enllaç carboni-fluor. També es pot classificar com a haloalcà o halometà. A causa dels múltiples enllaços carboni-fluor i la major electronegativitat del fluor, el carboni del tetrafluorometà té una càrrega parcial positiva significativa que enforteix i escurça els quatre enllaços carboni-fluor proporcionant un caràcter iònic addicional. El tetrafluorometà és un potent gas d'efecte hivernacle.
El tetrafluorometà s'utilitza de vegades com a refrigerant de baixa temperatura. S'utilitza en la microfabricació d'electrònica sol o en combinació amb oxigen com a gravador de plasma per a silici, diòxid de silici i nitrur de silici.
| Fórmula química | CF4 | Pes molecular | 88 |
| Núm. CAS | 75-73-0 | Núm. EINECS | 200-896-5 |
| Punt de fusió | -184 ℃ | Punt d'ebullició | -128,1 ℃ |
| solubilitat | Insoluble en aigua | Densitat | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Aspecte | Un gas incolor, inodor, no inflamable i compressible | Aplicació | utilitzat en el procés de gravat per plasma per a diversos circuits integrats, i també com a gas làser, refrigerant, etc. |
| Número d'identificació del DOT | ONU1982 | NOM D'ENVIAMENT DOT/IMO: | Tetrafluorometà, gas comprimit o refrigerant R14 |
| Classe de perill DOT | Classe 2.2 |
| Ítem | Valor, grau I | Valor, grau II | Unitat |
| Puresa | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Altres fluorocarbons | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Acidesa | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *altres fluorocarbons es refereixen a C2F6C3F8 | |||
Notes
1) totes les dades tècniques indicades anteriorment són per a la vostra referència.
2) Es benvinguda una especificació alternativa per a un debat més aprofundit.
