Produkty
Tetrafluorid uhličitý
Tetrafluormethan, známý také jako tetrafluorid uhličitý, je nejjednodušší fluorovaný uhlovodík (CF4). Díky povaze vazby uhlík-fluor má velmi vysokou vazebnou sílu. Lze jej také klasifikovat jako halogenalkan nebo halogenmethan. Vzhledem k vícenásobným vazbám uhlík-fluor a nejvyšší elektronegativitě fluoru má uhlík v tetrafluormethanu významný kladný parciální náboj, který posiluje a zkracuje čtyři vazby uhlík-fluor tím, že mu dodává další iontový charakter. Tetrafluormethan je silný skleníkový plyn.
Tetrafluormethan se někdy používá jako nízkoteplotní chladivo. Používá se v mikrofabrikaci elektroniky samostatně nebo v kombinaci s kyslíkem jako plazmové leptadlo pro křemík, oxid křemičitý a nitrid křemičitý.
| Chemický vzorec | CF4 | Molekulová hmotnost | 88 |
| Číslo CAS | 75-73-0 | Číslo EINECS | 200-896-5 |
| Bod tání | -184 ℃ | Bod varu | -128,1 ℃ |
| rozpustnost | Nerozpustný ve vodě | Hustota | 1,96 g/cm³ (-184 °C) |
| Vzhled | Bezbarvý, bez zápachu, nehořlavý, stlačitelný plyn | Aplikace | používá se v procesu plazmového leptání pro různé integrované obvody a také jako laserový plyn, chladivo atd. |
| Identifikační číslo ministerstva dopravy | OSN1982 | JMÉNO ZÁSILKY DOT/IMO: | Tetrafluormethan, stlačený plyn nebo chladicí plyn R14 |
| Třída nebezpečnosti DOT | Třída 2.2 |
| Položka | Hodnota, stupeň I | Hodnota, stupeň II | Jednotka |
| Čistota | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Ostatní fluorované uhlovodíky | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kyselost | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *ostatní fluorované uhlovodíky označují C2F6,C3F8 | |||
Poznámky
1) Všechny výše uvedené technické údaje jsou pouze orientační.
2) alternativní specifikace je vítána k další diskusi.
