Produkter
Kulstoftetrafluorid
Tetrafluormethan, også kendt som carbontetrafluorid, er det enkleste fluorcarbon (CF4). Det har en meget høj bindingsstyrke på grund af kulstof-fluor-bindingens natur. Det kan også klassificeres som en haloalkan eller halomethan. På grund af de mange kulstof-fluor-bindinger og fluors højeste elektronegativitet har kulstoffet i tetrafluormethan en betydelig positiv partiel ladning, som styrker og forkorter de fire kulstof-fluor-bindinger ved at give yderligere ionisk karakter. Tetrafluormethan er en potent drivhusgas.
Tetrafluormethan bruges undertiden som et lavtemperaturkølemiddel. Det bruges i elektronikmikrofabrikation alene eller i kombination med ilt som et plasmaætsningsmiddel til silicium, siliciumdioxid og siliciumnitrid.
| Kemisk formel | CF4 | Molekylvægt | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS-nr. | 200-896-5 |
| Smeltepunkt | -184℃ | Boling-punkt | -128,1 ℃ |
| opløselighed | Uopløselig i vand | Tæthed | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Udseende | En farveløs, lugtfri, ikke-brandbar, kompressibel gas | Anvendelse | Anvendes i plasmaætsningsprocesser til forskellige integrerede kredsløb og bruges også som lasergas, kølemiddel osv. |
| DOT ID-nummer | FN1982 | DOT/IMO FORSENDELSESNAVN: | Tetrafluormethan, komprimeret gas eller kølegas R14 |
| DOT-fareklasse | Klasse 2.2 |
| Punkt | Værdi, klasse I | Værdi, klasse II | Enhed |
| Renhed | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andre fluorcarboner | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Syreindhold | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andre fluorcarboner refererer til C2F6C3F8 | |||
Noter
1) Alle ovenstående tekniske data er til din reference.
2) Alternative specifikationer er velkomne til yderligere diskussion.
