Το τετραφθορομεθάνιο, επίσης γνωστό ως τετραφθοριούχος άνθρακας, είναι ο απλούστερος φθοράνθρακας (CF4). Έχει πολύ υψηλή ισχύ δεσμού λόγω της φύσης του δεσμού άνθρακα-φθορίου. Μπορεί επίσης να ταξινομηθεί ως αλογονοαλκάνιο ή αλογονομεθάνιο. Λόγω των πολλαπλών δεσμών άνθρακα-φθορίου και της υψηλότερης ηλεκτραρνητικότητας του φθορίου, ο άνθρακας στο τετραφθορομεθάνιο έχει ένα σημαντικό θετικό μερικό φορτίο που ενισχύει και βραχύνει τους τέσσερις δεσμούς άνθρακα-φθορίου παρέχοντας πρόσθετο ιοντικό χαρακτήρα. Το τετραφθορομεθάνιο είναι ένα ισχυρό αέριο θερμοκηπίου.
Το τετραφθορομεθάνιο χρησιμοποιείται μερικές φορές ως ψυκτικό μέσο χαμηλής θερμοκρασίας. Χρησιμοποιείται στην μικροκατασκευή ηλεκτρονικών ειδών μόνο του ή σε συνδυασμό με οξυγόνο ως μέσο χάραξης πλάσματος για πυρίτιο, διοξείδιο του πυριτίου και νιτρίδιο του πυριτίου.
Χημικός τύπος | CF4 | Μοριακό βάρος | 88 |
Αριθμός CAS | 75-73-0 | Αριθ. EINECS | 200-896-5 |
Σημείο τήξης | -184℃ | Σημείο βρασμού | -128,1℃ |
διαλυτότητα | Αδιάλυτο στο νερό | Πυκνότητα | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
Εμφάνιση | Ένα άχρωμο, άοσμο, μη εύφλεκτο, συμπιέσιμο αέριο | Εφαρμογή | Χρησιμοποιείται στη διαδικασία χάραξης με πλάσμα για διάφορα ολοκληρωμένα κυκλώματα και χρησιμοποιείται επίσης ως αέριο λέιζερ, ψυκτικό μέσο κ.λπ. |
Αριθμός Ταυτότητας DOT | ΟΗΕ1982 | ΟΝΟΜΑ ΑΠΟΣΤΟΛΗΣ DOT/IMO: | Τετραφθορομεθάνιο, συμπιεσμένο ή ψυκτικό αέριο R14 |
Κατηγορία κινδύνου DOT | Κλάση 2.2 |
Είδος | Αξία, βαθμός Ι | Αξία, βαθμός II | Μονάδα |
Καθαρότητα | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Άλλοι φθοράνθρακες | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Οξύτητα | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*άλλοι φθοράνθρακες αναφέρονται σε C2F6,ΝΤΟ3F8 |
Σημειώσεις
1) όλα τα τεχνικά δεδομένα που αναφέρονται παραπάνω είναι για την αναφορά σας.
2) Εναλλακτικές προδιαγραφές είναι ευπρόσδεκτες για περαιτέρω συζήτηση.