Produktoj
Karbona tetrafluorido
Tetrafluorometano, ankaŭ konata kiel karbona tetrafluorido, estas la plej simpla fluorokarbono (CF4). Ĝi havas tre altan ligforton pro la naturo de la karbono-fluora ligo. Ĝi ankaŭ povas esti klasifikita kiel haloalkano aŭ halometano. Pro la multnombraj karbono-fluoraj ligoj, kaj la plej alta elektronegativeco de fluoro, la karbono en tetrafluorometano havas signifan pozitivan partan ŝargon, kiu plifortigas kaj mallongigas la kvar karbono-fluorajn ligojn provizante plian jonan karakteron. Tetrafluorometano estas potenca forceja gaso.
Tetrafluorometano estas kelkfoje uzata kiel malalt-temperatura fridigaĵo. Ĝi estas uzata en elektronika mikrofabrikado sole aŭ en kombinaĵo kun oksigeno kiel plasma gratanto por silicio, silicia dioksido kaj silicia nitrido.
| Kemia formulo | CF4 | Molekula pezo | 88 |
| CAS-numero | 75-73-0 | EINECS-numero | 200-896-5 |
| Fandopunkto | -184℃ | Bolpunkto | -128.1℃ |
| solvebleco | Nesolvebla en akvo | Denseco | 1,96g/cm³ (-184℃) |
| Aspekto | Senkolora, senodora, nebrulema, kunpremebla gaso | Apliko | uzata en plasma gravurado por diversaj integraj cirkvitoj, kaj uzata ankaŭ kiel lasera gaso, fridigaĵo ktp. |
| DOT-identiga numero | UN1982 | DOT/IMO SENDNOMO: | Tetrafluorometano, Kunpremita aŭ Fridiga Gaso R14 |
| DOT Danĝera Klaso | Klaso 2.2 |
| Ero | Valoro, grado I | Valoro, grado II | Unuo |
| Pureco | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Aliaj fluorokarbonoj | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Acideco | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *aliaj fluorokarbonoj rilatas al C2F6C3F8 | |||
Notoj
1) ĉiuj supre indikitaj teknikaj datumoj estas por via referenco.
2) alternativa specifo estas bonvena por plia diskuto.
