Tooted
Süsiniktetrafluoriid
Tetrafluorometaan, tuntud ka kui süsiniktetrafluoriid, on lihtsaim fluorosüsinik (CF4). Sellel on süsiniku-fluori sideme olemuse tõttu väga kõrge sideme tugevus. Seda võib liigitada ka haloalkaaniks või halometaaniks. Mitmete süsiniku-fluori sidemete ja fluori kõrgeima elektronegatiivsuse tõttu on tetrafluorometaanis oleval süsinikul märkimisväärne positiivne osaline laeng, mis tugevdab ja lühendab nelja süsiniku-fluori sidet, andes täiendava ioonse iseloomu. Tetrafluorometaan on tugev kasvuhoonegaas.
Tetrafluorometaani kasutatakse mõnikord madala temperatuuriga külmutusagensina. Seda kasutatakse elektroonika mikrotootmises üksi või koos hapnikuga plasma söövitusainena räni, ränidioksiidi ja räninitriidi jaoks.
| Keemiline valem | CF4 | Molekulaarmass | 88 |
| CASi nr | 75-73-0 | EINECSi nr. | 200-896-5 |
| Sulamistemperatuur | -184 ℃ | Keemispunkt | -128,1 ℃ |
| lahustuvus | Vees lahustumatu | Tihedus | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Välimus | Värvitu, lõhnatu, mittesüttiv, kokkusurutav gaas | Taotlus | kasutatakse plasma söövitusprotsessis erinevate integraallülituste jaoks ning kasutatakse ka lasergaasina, külmutusagensina jne. |
| DOT ID-number | ÜRO1982 | DOT/IMO SAATJA NIMI: | Tetrafluorometaan, surugaas või külmutusgaas R14 |
| DOT ohuklass | Klass 2.2 |
| Ese | Väärtus, I klass | Väärtus, II klass | Ühik |
| Puhtus | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Muud fluorosüsinikud | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Happesus | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *muud fluorosüsinikud viitavad C-le2F6C3F8 | |||
Märkused
1) kõik ülaltoodud tehnilised andmed on teie teavitamiseks.
2) alternatiivsed spetsifikatsioonid on edasiseks aruteluks teretulnud.
