محصولات
تترافلورید کربن
تترافلورومتان که با نام تترافلورید کربن نیز شناخته می‌شود، ساده‌ترین فلوروکربن (CF4) است. به دلیل ماهیت پیوند کربن-فلورین، استحکام پیوند بسیار بالایی دارد. همچنین می‌توان آن را به عنوان یک هالوآلکان یا هالومتان طبقه‌بندی کرد. به دلیل پیوندهای متعدد کربن-فلورین و بالاترین الکترونگاتیوی فلوئور، کربن موجود در تترافلورومتان دارای بار جزئی مثبت قابل توجهی است که با ارائه خاصیت یونی اضافی، چهار پیوند کربن-فلورین را تقویت و کوتاه می‌کند. تترافلورومتان یک گاز گلخانه‌ای قوی است.
تترافلورومتان گاهی اوقات به عنوان مبرد در دمای پایین استفاده می‌شود. این ماده در ساخت قطعات الکترونیکی به تنهایی یا در ترکیب با اکسیژن به عنوان یک ماده‌ی قلم‌زن پلاسما برای سیلیکون، دی‌اکسید سیلیکون و نیترید سیلیکون استفاده می‌شود.
| فرمول شیمیایی | سی‌اف۴ | وزن مولکولی | 88 |
| شماره CAS | ۷۵-۷۳-۰ | شماره EINECS | ۲۰۰-۸۹۶-۵ |
| نقطه ذوب | -184℃ | نقطه بولینگ | -128.1℃ |
| حلالیت | نامحلول در آب | تراکم | ۱.۹۶ گرم بر سانتی‌متر مکعب (-۱۸۴ درجه سانتیگراد) |
| ظاهر | گازی بی‌رنگ، بی‌بو، غیرقابل اشتعال و قابل تراکم | کاربرد | در فرآیند اچینگ پلاسما برای مدارهای مجتمع مختلف استفاده می‌شود و همچنین به عنوان گاز لیزر، مبرد و غیره نیز مورد استفاده قرار می‌گیرد. |
| شماره شناسایی DOT | سازمان ملل متحد ۱۹۸۲ | نام کشتیرانی DOT/IMO: | تترافلورومتان، گاز فشرده یا مبرد R14 |
| کلاس خطر DOT | کلاس ۲.۲ |
| مورد | ارزش، درجه یک | ارزش، درجه دو | واحد |
| خلوص | ≥۹۹.۹۹۹ | ≥۹۹.۹۹۹۷ | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | پی پی ام وی |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | پی پی ام وی |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | پی پی ام وی |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | پی پی ام وی |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | پی پی ام وی |
| سایر فلوروکربن‌ها | ≤1.0 | ≤0.5 | پی پی ام وی |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | پی پی ام وی |
| H2 | ≤1.0 | —— | پی پی ام وی |
| اسیدیته | ≤0.1 | ≤0.1 | پی پی ام وی |
| *سایر فلوروکربن‌ها به C اشاره دارند2F6سی3F8 | |||
یادداشت‌ها
۱) تمام اطلاعات فنی ذکر شده در بالا برای مرجع شما هستند.
۲) مشخصات جایگزین برای بحث بیشتر مورد استقبال قرار می‌گیرد.
