Tuotteet
Hiilitetrafluoridi
Tetrafluorimetaani, joka tunnetaan myös nimellä hiilitetrafluoridi, on yksinkertaisin fluorihiilivety (CF4). Sillä on erittäin korkea sidoslujuus hiili-fluori-sidoksen luonteen vuoksi. Se voidaan luokitella myös haloalkaaniksi tai halometaaniksi. Useiden hiili-fluori-sidosten ja fluorin korkeimman elektronegatiivisuuden vuoksi tetrafluorimetaanin hiilellä on merkittävä positiivinen osittainen varaus, joka vahvistaa ja lyhentää neljää hiili-fluori-sidosta antamalla lisää ioniluonnetta. Tetrafluorimetaani on voimakas kasvihuonekaasu.
Tetrafluorimetaania käytetään joskus matalan lämpötilan kylmäaineena. Sitä käytetään elektroniikan mikrotuotannossa yksinään tai yhdessä hapen kanssa plasmaetsausaineena piille, piidioksidille ja piinitridille.
| Kemiallinen kaava | CF4 | Molekyylipaino | 88 |
| CAS-nro | 75-73-0 | EINECS-nro. | 200-896-5 |
| Sulamispiste | -184 ℃ | Kiehumispiste | -128,1 ℃ |
| liukoisuus | Liukenematon veteen | Tiheys | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Ulkonäkö | Väritön, hajuton, palamaton, kokoonpuristuva kaasu | Hakemus | käytetään plasmaetsausprosessissa erilaisissa integroiduissa piireissä ja käytetään myös laserkaasuna, kylmäaineena jne. |
| DOT-tunnusnumero | YK1982 | DOT/IMO TOIMITUSNIMI: | Tetrafluorimetaani, puristettu tai kylmäainekaasu R14 |
| DOT-vaaraluokka | Luokka 2.2 |
| Tuote | Arvo, luokka I | Arvo, luokka II | Yksikkö |
| Puhtaus | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Muut fluorihiilivedyt | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Happamuus | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *muut fluorihiilivedyt viittaavat C:hen2F6C3F8 | |||
Muistiinpanoja
1) Kaikki yllä mainitut tekniset tiedot ovat viitteellisiä.
2) Vaihtoehtoiset eritelmät ovat tervetulleita jatkokeskusteluun.
