Produkten
Koalstoftetrafluoride
Tetrafluoromethaan, ek wol bekend as koalstoftetrafluoride, is de ienfâldichste fluorkoalstof (CF4). It hat in tige hege bânsterkte fanwegen de aard fan 'e koalstof-fluorbining. It kin ek klassifisearre wurde as in haloalkaan of halometaan. Fanwegen de meardere koalstof-fluorbiningen, en de heechste elektronegativiteit fan fluor, hat de koalstof yn tetrafluoromethaan in wichtige positive parsjele lading dy't de fjouwer koalstof-fluorbiningen fersterket en ferkoartet troch ekstra ionysk karakter te jaan. Tetrafluoromethaan is in krêftich broeikasgas.
Tetrafluoromethaan wurdt soms brûkt as in koelmiddel foar lege temperatuer. It wurdt brûkt yn mikrofabrikaazje fan elektroanika, allinnich of yn kombinaasje mei soerstof as in plasma-etsmiddel foar silisium, silisiumdiokside en silisiumnitride.
| Gemyske formule | CF4 | Molekulêr gewicht | 88 |
| CAS-nûmer | 75-73-0 | EINECS-nûmer | 200-896-5 |
| Smeltpunt | -184℃ | Bolingpunt | -128.1℃ |
| oplosberens | Net oplosber yn wetter | Dichtheid | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Ferskining | In kleurleas, geurleas, net-brânber, kompressibel gas | Oanfraach | brûkt yn plasma-etsproses foar ferskate yntegreare circuits, en ek brûkt as lasergas, koelmiddel ensfh. |
| DOT ID-nûmer | FN1982 | DOT/IMO FERSTJOERNAMME: | Tetrafluoromethaan, komprimearre of koelmiddelgas R14 |
| DOT-gefaarklasse | Klasse 2.2 |
| Ûnderdiel | Wearde, klasse I | Wearde, klasse II | Ienheid |
| Suverens | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Oare fluorkoalwetterstoffen | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Soerheid | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *oare fluorkoalwetterstoffen ferwize nei C2F6C3F8 | |||
Notysjes
1) alle hjirboppe oanjûne technyske gegevens binne foar jo referinsje.
2) alternative spesifikaasje is wolkom foar fierdere diskusje.
