ટેટ્રાફ્લોરોમેથેન, જેને કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, તે સૌથી સરળ ફ્લોરોકાર્બન (CF4) છે. કાર્બન-ફ્લોરિન બોન્ડની પ્રકૃતિને કારણે તેમાં ખૂબ જ ઊંચી બંધન શક્તિ છે. તેને હેલોઆલ્કેન અથવા હેલોમેથેન તરીકે પણ વર્ગીકૃત કરી શકાય છે. બહુવિધ કાર્બન-ફ્લોરિન બોન્ડ અને ફ્લોરિનની સૌથી વધુ ઇલેક્ટ્રોનેગેટિવિટીને કારણે, ટેટ્રાફ્લોરોમેથેનમાં કાર્બન નોંધપાત્ર હકારાત્મક આંશિક ચાર્જ ધરાવે છે જે વધારાના આયનીય પાત્ર પ્રદાન કરીને ચાર કાર્બન-ફ્લોરિન બોન્ડને મજબૂત અને ટૂંકા કરે છે. ટેટ્રાફ્લોરોમેથેન એક શક્તિશાળી ગ્રીનહાઉસ ગેસ છે.
ટેટ્રાફ્લોરોમેથેનનો ઉપયોગ ક્યારેક નીચા તાપમાનના રેફ્રિજરેન્ટ તરીકે થાય છે. તેનો ઉપયોગ ઇલેક્ટ્રોનિક્સ માઇક્રોફેબ્રિકેશનમાં એકલા અથવા સિલિકોન, સિલિકોન ડાયોક્સાઇડ અને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ માટે પ્લાઝ્મા ઇચેન્ટ તરીકે ઓક્સિજન સાથે સંયોજનમાં થાય છે.
રાસાયણિક સૂત્ર | સીએફ૪ | પરમાણુ વજન | 88 |
CAS નં. | ૭૫-૭૩-૦ | EINECS નં. | 200-896-5 |
ગલનબિંદુ | -૧૮૪℃ | બોલિંગ પોઈન્ટ | -૧૨૮.૧℃ |
દ્રાવ્યતા | પાણીમાં અદ્રાવ્ય | ઘનતા | ૧.૯૬ ગ્રામ/સેમી³(-૧૮૪℃) |
દેખાવ | રંગહીન, ગંધહીન, જ્વલનશીલ, સંકોચનીય ગેસ | અરજી | વિવિધ સંકલિત સર્કિટ માટે પ્લાઝ્મા એચિંગ પ્રક્રિયામાં વપરાય છે, અને લેસર ગેસ, રેફ્રિજન્ટ વગેરે તરીકે પણ વપરાય છે. |
DOT ID નંબર | યુએન૧૯૮૨ | DOT/IMO શિપિંગ નામ: | ટેટ્રાફ્લોરોમિથેન, કોમ્પ્રેસ્ડ અથવા રેફ્રિજરેન્ટ ગેસ R14 |
ડીઓટી હેઝાર્ડ ક્લાસ | વર્ગ ૨.૨ |
વસ્તુ | મૂલ્ય, ગ્રેડ I | મૂલ્ય, ગ્રેડ II | એકમ |
શુદ્ધતા | ≥૯૯.૯૯૯ | ≥૯૯.૯૯૯૭ | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | પીપીએમવી |
N2 | ≤૪.૦ | ≤1.0 | પીપીએમવી |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | પીપીએમવી |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | પીપીએમવી |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | પીપીએમવી |
અન્ય ફ્લોરોકાર્બન | ≤1.0 | ≤0.5 | પીપીએમવી |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | પીપીએમવી |
H2 | ≤1.0 | —— | પીપીએમવી |
એસિડિટી | ≤0.1 | ≤0.1 | પીપીએમવી |
*અન્ય ફ્લોરોકાર્બન C નો સંદર્ભ આપે છે2F6、સી3F8 |
નોંધો
૧) ઉપર દર્શાવેલ તમામ ટેકનિકલ ડેટા તમારા સંદર્ભ માટે છે.
૨) વધુ ચર્ચા માટે વૈકલ્પિક સ્પષ્ટીકરણનું સ્વાગત છે.