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कार्बन टेट्राफ्लोराइड
टेट्राफ्लोरोमीथेन, जिसे कार्बन टेट्राफ्लोराइड भी कहते हैं, सबसे सरल फ्लोरोकार्बन (CF4) है। कार्बन-फ्लोरीन बंध की प्रकृति के कारण इसकी बंध शक्ति बहुत अधिक होती है। इसे हैलोऐल्केन या हैलोमीथेन के रूप में भी वर्गीकृत किया जा सकता है। कई कार्बन-फ्लोरीन बंधों और फ्लोरीन की उच्चतम विद्युतऋणात्मकता के कारण, टेट्राफ्लोरोमीथेन में कार्बन में एक महत्वपूर्ण धनात्मक आंशिक आवेश होता है जो अतिरिक्त आयनिक गुण प्रदान करके चारों कार्बन-फ्लोरीन बंधों को मजबूत और छोटा करता है। टेट्राफ्लोरोमीथेन एक प्रबल ग्रीनहाउस गैस है।
टेट्राफ्लोरोमीथेन का उपयोग कभी-कभी निम्न तापमान वाले रेफ्रिजरेंट के रूप में किया जाता है। इसका उपयोग इलेक्ट्रॉनिक्स माइक्रोफैब्रिकेशन में अकेले या ऑक्सीजन के साथ मिलकर सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड और सिलिकॉन नाइट्राइड के लिए प्लाज़्मा एचेंट के रूप में किया जाता है।
| रासायनिक सूत्र | सीएफ4 | आणविक वजन | 88 |
| CAS संख्या। | 75-73-0 | ईआईएनईसीएस नं. | 200-896-5 |
| गलनांक | -184℃ | बोलिंग बिंदु | -128.1℃ |
| घुलनशीलता | पानी में अघुलनशील | घनत्व | 1.96 ग्राम/सेमी³（-184℃） |
| उपस्थिति | एक रंगहीन, गंधहीन, गैर-ज्वलनशील, संपीड़ित गैस | आवेदन | विभिन्न एकीकृत सर्किटों के लिए प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रिया में उपयोग किया जाता है, और लेजर गैस, शीतलक आदि के रूप में भी उपयोग किया जाता है। |
| डीओटी आईडी नंबर | संयुक्त राष्ट्र1982 | डीओटी/आईएमओ शिपिंग नाम: | टेट्राफ्लोरोमीथेन, संपीड़ित या रेफ्रिजरेंट गैस R14 |
| डीओटी खतरा वर्ग | कक्षा 2.2 |
| वस्तु | मूल्य, ग्रेड I | मूल्य, ग्रेड II | इकाई |
| पवित्रता | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | पीपीएमवी |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | पीपीएमवी |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | पीपीएमवी |
| अन्य फ्लोरोकार्बन | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| H2 | ≤1.0 | —— | पीपीएमवी |
| अम्लता | ≤0.1 | ≤0.1 | पीपीएमवी |
| *अन्य फ्लोरोकार्बन C को संदर्भित करते हैं2F6,सी3F8 | |||
नोट्स
1) ऊपर दर्शाए गए सभी तकनीकी डेटा आपके संदर्भ के लिए हैं।
2) आगे की चर्चा के लिए वैकल्पिक विनिर्देश का स्वागत है।
