Pwodwi yo
Tetrafluorid kabòn
Tetrafluorometàn, ke yo rele tou tetrafluorid kabòn, se fluorokarbon (CF4) ki pi senp lan. Li gen yon fòs lyezon ki wo anpil akòz nati lyezon kabòn-fliyò a. Li kapab klase tou kòm yon aloalkan oswa alometàn. Akòz plizyè lyezon kabòn-fliyò yo, ak pi wo elektwonegativite fliyò a, kabòn nan tetrafluorometàn gen yon chaj pasyèl pozitif siyifikatif ki ranfòse epi rakousi kat lyezon kabòn-fliyò yo lè li bay plis karaktè iyonik. Tetrafluorometàn se yon gaz ki lakòz efè tèmik pisan.
Tetrafluorometàn pafwa itilize kòm yon febrifuj tanperati ki ba. Li itilize nan mikwofabrikasyon elektwonik poukont li oswa an konbinezon avèk oksijèn kòm yon pwodui pou grave plasma pou silikon, diyoksid silikon, ak nitrid silikon.
| Fòmil chimik | CF4 | Pwa molekilè | 88 |
| Nimewo CAS | 75-73-0 | Nimewo EINECS la | 200-896-5 |
| Pwen fizyon | -184℃ | Pwen ebulisyon | -128.1℃ |
| solubilite | Ensolubl nan dlo | Dansite | 1.96g/cm³ (-184 ℃) |
| Aparans | Yon gaz san koulè, san odè, ki pa ka pran dife, epi ki konpresib | Aplikasyon | yo itilize nan pwosesis grave plasma pou divès sikui entegre, epi yo itilize tou kòm gaz lazè, febrifuj elatriye. |
| Nimewo ID DOT | Nasyonzini 1982 | NON LIVREZON DOT/IMO: | Tetrafluorometàn, Gaz Konprese oswa Refrijeran R14 |
| Klas Danje DOT | Klas 2.2 |
| Atik | Valè, klas I | Valè, klas II | Inite |
| Pite | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Lòt fliyokarbon | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Asidite | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *lòt fluorokarbon yo refere a C2F6C3F8 | |||
Nòt
1) tout done teknik ki endike anwo yo se pou referans ou.
2) Nou ka diskite plis sou nenpòt spesifikasyon altènatif.
