Termékek
Szén-tetrafluorid
A tetrafluor-metán, más néven szén-tetrafluorid, a legegyszerűbb fluorozott szénhidrogén (CF4). A szén-fluor kötés jellegéből adódóan nagyon nagy kötési szilárdsággal rendelkezik. Halogénezett alkánként vagy halogénezett metánként is besorolható. A többszörös szén-fluor kötések és a fluor legnagyobb elektronegativitása miatt a tetrafluor-metánban lévő szén jelentős pozitív parciális töltéssel rendelkezik, amely további ionos jelleget biztosítva erősíti és lerövidíti a négy szén-fluor kötést. A tetrafluor-metán egy erős üvegházhatású gáz.
A tetrafluor-metánt néha alacsony hőmérsékletű hűtőközegként használják. Elektronikai mikrogyártásban önmagában vagy oxigénnel kombinálva plazmamarószerként használják szilícium, szilícium-dioxid és szilícium-nitrid esetén.
| Kémiai képlet | CF4 | Molekulatömeg | 88 |
| CAS-szám | 75-73-0 | EINECS-szám | 200-896-5 |
| Olvadáspont | -184 ℃ | Forráspont | -128,1 ℃ |
| oldhatóság | Vízben oldhatatlan | Sűrűség | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Megjelenés | Színtelen, szagtalan, nem gyúlékony, összenyomható gáz | Alkalmazás | plazmamaratási eljárásban használják különféle integrált áramkörökhöz, valamint lézergázként, hűtőközegként stb. |
| Közlekedési Közlekedési Hivatal azonosító száma | ENSZ1982 | DOT/IMO SZÁLLÍTÁSI NÉV: | Tetrafluor-metán, sűrített vagy hűtőközeges gáz R14 |
| DOT veszélyességi osztály | 2.2. osztály |
| Tétel | Érték, I. osztály | Érték, II. osztály | Egység |
| Tisztaság | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Egyéb fluorozott szénhidrogének | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Savasság | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *egyéb fluorozott szénhidrogének C-re vonatkoznak2F6C.3F8 | |||
Megjegyzések
1) A fent feltüntetett összes műszaki adat tájékoztató jellegű.
2) alternatív specifikációkat is szívesen fogadunk további megbeszélés céljából.
