Տետրաֆտորմեթանը, որը հայտնի է նաև որպես ածխածնի տետրաֆտորիդ, ամենապարզ ֆտորածխածինն է (CF4): Այն ունի շատ բարձր կապի ամրություն՝ ածխածին-ֆտոր կապի բնույթի շնորհիվ: Այն կարող է նաև դասակարգվել որպես հալոգենալկան կամ հալոմեթան: Ածխածին-ֆտոր բազմաթիվ կապերի և ֆտորի ամենաբարձր էլեկտրոնեգատիվության պատճառով, տետրաֆտորմեթանի ածխածինն ունի զգալի դրական մասնակի լիցք, որն ամրապնդում և կրճատում է չորս ածխածին-ֆտոր կապերը՝ ապահովելով լրացուցիչ իոնային բնույթ: Տետրաֆտորմեթանը հզոր ջերմոցային գազ է:
Տետրաֆտորմեթանը երբեմն օգտագործվում է որպես ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտ։ Այն օգտագործվում է էլեկտրոնիկայի միկրոարտադրության մեջ՝ առանձին կամ թթվածնի հետ համատեղ՝ որպես սիլիցիումի, սիլիցիումի երկօքսիդի և սիլիցիումի նիտրիդի պլազմային փորագրիչ։
Քիմիական բանաձև | CF4 | Մոլեկուլային քաշը | 88 |
CAS համարը | 75-73-0 | EINECS համարը | 200-896-5 |
Հալման կետ | -184℃ | Եռման կետ | -128.1℃ |
լուծելիություն | Անլուծելի է ջրում | Խտություն | 1.96 գ/սմ³ (-184℃) |
Արտաքին տեսք | Անգույն, անհոտ, չհրկիզվող, սեղմելի գազ | Դիմում | օգտագործվում է տարբեր ինտեգրալ սխեմաների պլազմային փորագրման գործընթացում, ինչպես նաև որպես լազերային գազ, սառեցնող նյութ և այլն։ |
DOT ID համարը | ՄԱԿ1982 | DOT/IMO առաքման անվանումը՝ | Տետրաֆտորմեթան, սեղմված կամ սառեցնող գազ R14 |
DOT վտանգի դաս | Դաս 2.2 |
Ապրանք | Արժեք, I աստիճան | Արժեք, II աստիճան | Միավոր |
Մաքրություն | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Այլ ֆտորածխածիններ | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
Թթվայնություն | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*այլ ֆտորածխածինները վերաբերում են C-ին2F6Գ3F8 |
Նշումներ
1) Վերը նշված բոլոր տեխնիկական տվյալները ձեր հղման համար են։
2) այլընտրանքային սպեցիֆիկացիաները ողջունելի են հետագա քննարկման համար։