מוצרים
פחמן טטרה-פלואוריד
טטרהפלואורומתאן, הידוע גם כפחמן טטרהפלואוריד, הוא הפלואורו-פחמן הפשוט ביותר (CF4). יש לו חוזק קשר גבוה מאוד בשל אופי הקשר פחמן-פלואור. ניתן לסווג אותו גם כהלואלקן או הלומתאן. בשל קשרי הפחמן-פלואור המרובים, והאלקטרושליליות הגבוהה ביותר של פלואור, לפחמן בטטרהפלואורומתאן יש מטען חלקי חיובי משמעותי אשר מחזק ומקצר את ארבעת קשרי הפחמן-פלואור על ידי מתן אופי יוני נוסף. טטרהפלואורומתאן הוא גז חממה חזק.
טטרהפלואורומתאן משמש לעיתים כמקרר בטמפרטורה נמוכה. הוא משמש בייצור מיקרואלקטרוניקה לבד או בשילוב עם חמצן כחומר חריטה פלזמה עבור סיליקון, סיליקון דיאוקסיד וסיליקון ניטריד.
| נוסחה כימית | CF4 | משקל מולקולרי | 88 |
| מספר CAS | 75-73-0 | מספר EINECS | 200-896-5 |
| נקודת התכה | -184℃ | נקודת בולינג | -128.1 ℃ |
| מְסִיסוּת | בלתי מסיס במים | צְפִיפוּת | 1.96 גרם/סמ"ק (-184 מעלות צלזיוס) |
| הוֹפָעָה | גז חסר צבע, חסר ריח, לא דליק וניתן לדחיסה | בַּקָשָׁה | משמש בתהליך איכול פלזמה עבור מעגלים משולבים שונים, ומשמש גם כגז לייזר, חומר קירור וכו'. |
| מספר זיהוי DOT | האו"ם 1982 | שם משלוח DOT/IMO: | טטרהפלואורומתאן, גז דחוס או קירור R14 |
| סיווג סיכונים של DOT | כיתה 2.2 |
| פָּרִיט | ערך, דרגה א' | ערך, דרגה ב' | יְחִידָה |
| טוֹהַר | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| פלואורוקרבונים אחרים | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| חוּמצִיוּת | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *פלואור-פחמנים אחרים מתייחסים ל-C2F6ג3F8 | |||
הערות
1) כל הנתונים הטכניים המצוינים לעיל הם לעיונך.
2) מפרט חלופי יתקבל בברכה לדיון נוסף.
