ტეტრაფტორმეთანი, ასევე ცნობილი როგორც ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი, არის უმარტივესი ფტორნახშირბადი (CF4). მას აქვს ძალიან მაღალი ბმის სიმტკიცე ნახშირბად-ფტორის ბმის ბუნების გამო. ის ასევე შეიძლება კლასიფიცირდეს როგორც ჰალოალკანი ან ჰალომეთანი. ნახშირბად-ფტორის მრავალი ბმისა და ფტორის ყველაზე მაღალი ელექტროუარყოფითობის გამო, ტეტრაფტორმეთანში ნახშირბადს აქვს მნიშვნელოვანი დადებითი ნაწილობრივი მუხტი, რომელიც აძლიერებს და ამცირებს ნახშირბად-ფტორის ოთხ ბმას დამატებითი იონური ხასიათის მიწოდებით. ტეტრაფტორმეთანი არის ძლიერი სათბურის აირი.
ტეტრაფტორმეთანი ზოგჯერ გამოიყენება დაბალი ტემპერატურის მაცივარ აგენტად. ის გამოიყენება ელექტრონიკის მიკროწარმოებაში დამოუკიდებლად ან ჟანგბადთან კომბინაციაში, როგორც სილიციუმის, სილიციუმის დიოქსიდის და სილიციუმის ნიტრიდის პლაზმური ამორტიზატორი.
ქიმიური ფორმულა | CF4 | მოლეკულური წონა | 88 |
CAS ნომერი | 75-73-0 | EINECS ნომერი | 200-896-5 |
დნობის წერტილი | -184℃ | დუღილის წერტილი | -128.1℃ |
ხსნადობა | წყალში უხსნადი | სიმჭიდროვე | 1.96 გ/სმ³ (-184℃) |
გარეგნობა | უფერო, უსუნო, არააალებადი, შეკუმშვადი აირი | აპლიკაცია | გამოიყენება სხვადასხვა ინტეგრირებული სქემების პლაზმური გრავირების პროცესში და ასევე გამოიყენება როგორც ლაზერული აირი, მაცივარი და ა.შ. |
DOT ID ნომერი | გაერო1982 | DOT/IMO გადაზიდვის დასახელება: | ტეტრაფტორმეთანი, შეკუმშული ან მაცივარ-აირი R14 |
DOT-ის საშიშროების კლასი | კლასი 2.2 |
ნივთი | ღირებულება, I კლასი | ღირებულება, II კლასი | ერთეული |
სიწმინდე | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
სხვა ფტორნახშირბადები | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
მჟავიანობა | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
*სხვა ფტორნახშირბადები ეხება C-ს2F6、C3F8 |
შენიშვნები
1) ზემოთ მითითებული ყველა ტექნიკური მონაცემი თქვენი მითითებისთვისაა.
2) ალტერნატიული სპეციფიკაცია მისასალმებელია შემდგომი განხილვისთვის.