Berhem
Karbon Tetrafluorîd
Tetrafluorometan, ku wekî karbon tetrafluorîd jî tê zanîn, fluorokarbona herî hêsan (CF4) e. Ji ber xwezaya girêdana karbon-fluorînê, ew xwedî hêzek girêdanê ya pir zêde ye. Ew dikare wekî haloalkan an halometan jî were dabeş kirin. Ji ber pirjimariya girêdanên karbon-fluorînê, û elektronegatîvîteya herî bilind a fluorînê, karbona di tetrafluorometanê de xwedî barek qismî ya erênî ya girîng e ku çar girêdanên karbon-fluorînê bi dabînkirina karakterek îyonîk a zêde xurt dike û kurt dike. Tetrafluorometan gazek serayê ya bihêz e.
Tetrafluorometan carinan wekî sarincokê germahiya nizm tê bikar anîn. Ew di mîkroçêkirina elektronîkê de bi tena serê xwe an jî bi oksîjenê re wekî plazmayek ji bo silîkon, dîoksîda silîkonê, û nîtrîda silîkonê tê bikar anîn.
| Formula kîmyayî | CF4 | Giraniya molekulî | 88 |
| Jimareya CAS | 75-73-0 | Jimareya EINECS | 200-896-5 |
| Xala helandinê | -184℃ | Xala bolkirinê | -128.1℃ |
| çareserî | Di avê de nahele | Tîrbûn | 1.96g/cm³（-184℃） |
| Xuyabûnî | Gazeke bêreng, bêbêhn, neşewitî û pêçbar | Bikaranînî | di pêvajoya gravkirina plazmayê de ji bo cûrbecûr devreyên entegre tê bikar anîn, û her weha wekî gaza lazer, sarinc hwd. jî tê bikar anîn. |
| Hejmara Nasnameya DOT | NY1982 | NAVÊ ŞANDINÊ DOT/IMO: | Tetrafluorometan, Gaza Pêçayî an Sarincokê R14 |
| Çîna Xetereya DOT | Pola 2.2 |
| Şanî | Nirx, pola I | Nirx, pola II | Yekbûn |
| Paqijî | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorokarbonên din | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Asîdîtî | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *florokarbonên din behsa C dikin2F6C3F8 | |||
Têbînî
1) Hemû daneyên teknîkî yên li jor hatine destnîşan kirin ji bo referansa we ne.
2) taybetmendiya alternatîf ji bo nîqaşa bêtir bi xêr hatî.
