Продукциялар
Көмүртек тетрафториди
Tetrafluorometan, ошондой эле көмүртек tetrafluoride катары белгилүү, жөнөкөй fluorocarbon (CF4) болуп саналат. Көмүртек-фтор байланышынын табиятынан улам ал өтө жогорку байланыш күчкө ээ. Ошондой эле галоалкан же галометан катары классификациялоого болот. Көптөгөн көмүртек-фтор байланыштары жана фтордун эң жогорку электр терс касиети болгондуктан, тетрафторметандагы көмүртек кошумча иондук мүнөздөгү төрт көмүртек-фтор байланышын бекемдейт жана кыскартат. Тетрафторметан - күчтүү парник газы.
Тетрафторметан кээде төмөнкү температурадагы муздаткыч катары колдонулат. Ал электроника микрофабрикасында жалгыз же кычкылтек менен бирге кремний, кремний диоксиди жана кремний нитриди үчүн плазма стимул катары колдонулат.
| Химиялык формула | CF4 | Молекулярдык салмак | 88 |
| CAS № | 75-73-0 | EINECS № | 200-896-5 |
| Эрүү чекити | -184℃ | Болинг чекити | -128,1℃ |
| эригичтиги | Сууда эрибейт | тыгыздыгы | 1,96 г/см³ (-184℃) |
| Көрүнүш | Түссүз, жытсыз, күйбөгөн, кысылып турган газ | Колдонмо | ар кандай интегралдык микросхемалар үчүн плазмалык оюу процессинде колдонулат, ошондой эле лазердик газ, муздаткыч ж.б. |
| DOT ID номери | UN1982 | DOT/IMO ЖЕТКИРҮҮ АТЫ: | Тетрафторметан, кысылган же муздаткыч газ R14 |
| DOT коркунуч классы | Класс 2.2 |
| пункт | Баасы, I даража | Маани, II даража | бирдиги |
| Тазалык | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Башка fluorocarbons | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Кислоталуулук | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *башка флюорокарбондор С2F6、C3F8 | |||
Эскертүүлөр
1) жогоруда көрсөтүлгөн бардык техникалык маалыматтар сиздин маалыматыңыз үчүн.
2) альтернативалуу спецификация андан ары талкуулоо үчүн кабыл алынат.
