Produkter
Kuelestofftetrafluorid
Tetrafluormethan, och bekannt als Kuelestofftetrafluorid, ass dee einfachste Fluorkuelestoff (CF4). En huet eng ganz héich Bindungsstäerkt wéinst der Natur vun der Kuelestoff-Fluor-Bindung. E kann och als Haloalkan oder Halomethan klasséiert ginn. Wéinst de ville Kuelestoff-Fluor-Bindungen an der héchster Elektronegativitéit vu Fluor huet de Kuelestoff am Tetrafluormethan eng bedeitend positiv partiell Ladung, déi déi véier Kuelestoff-Fluor-Bindungen stäerkt a verkierzt andeems en en zousätzleche ionesche Charakter gëtt. Tetrafluormethan ass e staarkt Treibhausgas.
Tetrafluormethan gëtt heiansdo als Niddertemperatur-Kältemëttel benotzt. Et gëtt an der Mikrofabrikatioun vun Elektronik eleng oder a Kombinatioun mat Sauerstoff als Plasmaätzmëttel fir Silizium, Siliziumdioxid a Siliziumnitrid benotzt.
| Chemesch Formel | CF4 | Molekulargewiicht | 88 |
| CAS-Nummer | 75-73-0 | EINECS Nr. | 200-896-5 |
| Schmelzpunkt | -184℃ | Boling-Punkt | -128,1 ℃ |
| Léisungsfäegkeet | Onléislech am Waasser | Dicht | 1,96 g/cm³ (-184 °C) |
| Ausgesinn | E faarflos, geruchslos, net brennbar, kompressibelt Gas | Applikatioun | am Plasmaätzprozess fir verschidden integréiert Schaltungen benotzt, a gëtt och als Lasergas, Kältemëttel etc. benotzt. |
| DOT ID Nummer | UN1982 | DOT/IMO Versandnumm: | Tetrafluormethan, kompriméiert oder Kältemëttelgas R14 |
| DOT Geforklass | Klass 2.2 |
| Artikel | Wäert, Grad I | Wäert, Grad II | Eenheet |
| Rengheet | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Aner Fluorcarbonen | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Säure | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *aner Fluorcarbonen bezéie sech op C2F6C3F8 | |||
Notizen
1) all déi uewe genannten technesch Donnéeën sinn als Referenz geduecht.
2) Alternativ Spezifikatioune si fir weider Diskussioun wëllkomm.
