Produktai
Anglies tetrafluoridas
Tetrafluormetanas, dar žinomas kaip anglies tetrafluoridas, yra paprasčiausias fluorokarbonas (CF4). Dėl anglies ir fluoro jungties pobūdžio jis pasižymi labai dideliu jungties stiprumu. Jis taip pat gali būti klasifikuojamas kaip halogenalkanas arba halometanas. Dėl daugybės anglies ir fluoro jungčių ir didžiausio fluoro elektronegatyvumo, tetrafluormetane esanti anglis turi didelį teigiamą dalinį krūvį, kuris sustiprina ir sutrumpina keturias anglies ir fluoro jungtis, suteikdamas papildomą joninį pobūdį. Tetrafluormetanas yra stiprios šiltnamio efektą sukeliančios dujos.
Tetrafluormetanas kartais naudojamas kaip žemos temperatūros šaltnešis. Jis naudojamas elektronikos mikrogamyboje vienas arba kartu su deguonimi kaip plazminis silicio, silicio dioksido ir silicio nitrido ėsdinimo agentas.
| Cheminė formulė | CF4 | Molekulinė masė | 88 |
| CAS Nr. | 75-73-0 | EINECS Nr. | 200-896-5 |
| Lydymosi temperatūra | -184 ℃ | Virimo taškas | -128,1 ℃ |
| tirpumas | Netirpsta vandenyje | Tankis | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Išvaizda | Bespalvės, bekvapės, nedegios, suspaudžiamos dujos | Paraiška | Naudojamas plazminio ėsdinimo procese įvairioms integrinėms grandinėms, taip pat naudojamas kaip lazerinės dujos, šaltnešis ir kt. |
| DOT ID numeris | JT1982 | DOT/IMO SIUNČIANČIO PAVADINIMAS: | Tetrafluormetanas, suslėgtos arba šaltnešio dujos R14 |
| DOT pavojingumo klasė | 2.2 klasė |
| Prekė | Vertė, I klasė | Vertė, II laipsnis | Vienetas |
| Grynumas | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Kiti fluorokarbonai | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Rūgštingumas | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *kiti fluorokarbonai nurodo C2F6C.3F8 | |||
Pastabos
1) Visi aukščiau nurodyti techniniai duomenys yra skirti tik informaciniams tikslams.
2) alternatyvios specifikacijos yra laukiamos tolesniam aptarimui.
