Tetrafluormetāns, kas pazīstams arī kā tetrafluorogleklis, ir vienkāršākais fluorogļūdeņradis (CF4). Tam ir ļoti augsta saites stiprība oglekļa-fluora saites rakstura dēļ. To var klasificēt arī kā haloalkānu vai halometānu. Sakarā ar vairākām oglekļa-fluora saitēm un fluora augstāko elektronegativitāti, tetrafluormetāna ogleklim ir ievērojams pozitīvs daļējs lādiņš, kas stiprina un saīsina četras oglekļa-fluora saites, piešķirot tām papildu jonu raksturu. Tetrafluormetāns ir spēcīga siltumnīcefekta gāze.
Tetrafluormetānu dažreiz izmanto kā zemas temperatūras aukstumaģentu. To izmanto elektronikas mikroražošanā atsevišķi vai kombinācijā ar skābekli kā plazmas kodinātāju silīcijam, silīcija dioksīdam un silīcija nitrīdam.
Ķīmiskā formula | CF4 | Molekulmasa | 88 |
CAS Nr. | 75-73-0 | EINECS Nr. | 200-896-5 |
Kušanas temperatūra | -184 ℃ | Vārīšanās punkts | -128,1 ℃ |
šķīdība | Nešķīst ūdenī | Blīvums | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
Izskats | Bezkrāsaina, bez smaržas, neuzliesmojoša, saspiežama gāze | Pieteikums | izmanto plazmas kodināšanas procesā dažādām integrētām shēmām, kā arī izmanto kā lāzera gāzi, aukstumaģentu utt. |
DOT ID numurs | UN1982 | DOT/IMO PIEGĀDES NOSAUKUMS: | Tetrafluormetāns, saspiesta vai dzesējošā gāze R14 |
DOT bīstamības klase | 2.2. klase |
Prece | Vērtība, I pakāpe | Vērtība, II pakāpe | Vienība |
Tīrība | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Citi fluorogļūdeņraži | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Skābums | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*citi fluorogļūdeņraži attiecas uz C2F6C3F8 |
Piezīmes
1) Visi iepriekš norādītie tehniskie dati ir paredzēti tikai uzziņai.
2) alternatīva specifikācija ir apsveicama turpmākai apspriešanai.