टेट्राफ्लुरोमेथेन, ज्याला कार्बन टेट्राफ्लुओराइड असेही म्हणतात, हा सर्वात सोपा फ्लोरोकार्बन (CF4) आहे. कार्बन-फ्लोरिन बंधाच्या स्वरूपामुळे त्याची बंध शक्ती खूप जास्त आहे. त्याला हॅलोअल्केन किंवा हॅलोमेथेन म्हणून देखील वर्गीकृत केले जाऊ शकते. अनेक कार्बन-फ्लोरिन बंधांमुळे आणि फ्लोरिनची सर्वोच्च इलेक्ट्रोनेगेटिव्हिटीमुळे, टेट्राफ्लुरोमेथेनमधील कार्बनमध्ये एक महत्त्वपूर्ण सकारात्मक आंशिक चार्ज असतो जो अतिरिक्त आयनिक वर्ण प्रदान करून चार कार्बन-फ्लोरिन बंधांना मजबूत आणि लहान करतो. टेट्राफ्लुरोमेथेन हा एक शक्तिशाली हरितगृह वायू आहे.
टेट्राफ्लुरोमेथेन कधीकधी कमी तापमानाचे रेफ्रिजरंट म्हणून वापरले जाते. ते केवळ इलेक्ट्रॉनिक्स मायक्रोफॅब्रिकेशनमध्ये किंवा सिलिकॉन, सिलिकॉन डायऑक्साइड आणि सिलिकॉन नायट्राइडसाठी प्लाझ्मा एचंट म्हणून ऑक्सिजनसह एकत्रितपणे वापरले जाते.
रासायनिक सूत्र | सीएफ४ | आण्विक वजन | 88 |
CAS क्र. | ७५-७३-० | EINECS क्र. | २००-८९६-५ |
द्रवणांक | -१८४℃ | बोलिंग पॉइंट | -१२८.१℃ |
विद्राव्यता | पाण्यात अघुलनशील | घनता | १.९६ ग्रॅम/सेमी³(-१८४℃) |
देखावा | एक रंगहीन, गंधहीन, ज्वलनशील, दाबता येणारा वायू | अर्ज | विविध एकात्मिक सर्किट्ससाठी प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेत वापरले जाते आणि लेसर गॅस, रेफ्रिजरंट इत्यादी म्हणून देखील वापरले जाते. |
डॉट आयडी क्रमांक | यूएन १९८२ | डॉट/आयएमओ शिपिंग नाव: | टेट्राफ्लुरोमिथेन, कॉम्प्रेस्ड किंवा रेफ्रिजरंट गॅस R14 |
डीओटी धोका वर्ग | वर्ग २.२ |
आयटम | मूल्य, ग्रेड I | मूल्य, ग्रेड II | युनिट |
पवित्रता | ≥९९.९९९ | ≥९९.९९९७ | % |
O2 | ≤१.० | ≤०.५ | पीपीएमव्ही |
N2 | ≤४.० | ≤१.० | पीपीएमव्ही |
CO | ≤०.१ | ≤०.१ | पीपीएमव्ही |
CO2 | ≤१.० | ≤०.५ | पीपीएमव्ही |
SF6 | ≤०.८ | ≤०.२ | पीपीएमव्ही |
इतर फ्लोरोकार्बन | ≤१.० | ≤०.५ | पीपीएमव्ही |
H2O | ≤१.० | ≤०.५ | पीपीएमव्ही |
H2 | ≤१.० | —— | पीपीएमव्ही |
आम्लता | ≤०.१ | ≤०.१ | पीपीएमव्ही |
*इतर फ्लोरोकार्बन C चा संदर्भ घेतात2F6、सी3F8 |
नोट्स
१) वर दर्शविलेले सर्व तांत्रिक डेटा तुमच्या संदर्भासाठी आहेत.
२) पुढील चर्चेसाठी पर्यायी तपशील स्वागतार्ह आहे.