Producten
Koolstoftetrafluoride
Tetrafluormethaan, ook bekend als koolstoftetrafluoride, is de eenvoudigste fluorkoolstof (CF4). Het heeft een zeer hoge bindingssterkte dankzij de aard van de koolstof-fluorbinding. Het kan ook worden geclassificeerd als een haloalkaan of halomethaan. Vanwege de meerdere koolstof-fluorbindingen en de hoogste elektronegativiteit van fluor, heeft de koolstof in tetrafluormethaan een significante positieve partiële lading die de vier koolstof-fluorbindingen versterkt en verkort door extra ionen te leveren. Tetrafluormethaan is een krachtig broeikasgas.
Tetrafluormethaan wordt soms gebruikt als koelmiddel bij lage temperaturen. Het wordt gebruikt in de microfabricage van elektronica, alleen of in combinatie met zuurstof, als plasma-etsmiddel voor silicium, siliciumdioxide en siliciumnitride.
| Chemische formule | CF4 | Moleculair gewicht | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS-nr. | 200-896-5 |
| Smeltpunt | -184℃ | Bolingpunt | -128,1℃ |
| oplosbaarheid | Onoplosbaar in water | Dikte | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Verschijning | Een kleurloos, geurloos, niet-ontvlambaar, samendrukbaar gas | Sollicitatie | wordt gebruikt in het plasma-etsproces voor verschillende geïntegreerde schakelingen, en ook als lasergas, koelmiddel etc. |
| DOT ID-nummer | VN1982 | DOT/IMO VERZENDNAAM: | Tetrafluormethaan, samengeperst of koelmiddelgas R14 |
| DOT-gevarenklasse | Klasse 2.2 |
| Item | Waarde, klasse I | Waarde, klasse II | Eenheid |
| Zuiverheid | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andere fluorkoolstoffen | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Zuurgraad | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andere fluorkoolstoffen verwijzen naar C2F6,C3F8 | |||
Notities
1) Alle hierboven vermelde technische gegevens dienen ter referentie.
2) Alternatieve specificaties zijn welkom voor verdere discussie.
