محصولات
کاربن ټیټرافلوورایډ
ټیټرافلوورومیتان، چې د کاربن ټیټرافلوورایډ په نوم هم پیژندل کیږي، تر ټولو ساده فلورو کاربن (CF4) دی. دا د کاربن-فلورین بانډ د طبیعت له امله د اړیکو خورا لوړ ځواک لري. دا د هالو الکین یا هالومیتان په توګه هم طبقه بندي کیدی شي. د ډیری کاربن-فلورین بانډونو او د فلورین د لوړې الکترونیکي منفيیت له امله، په ټیټرافلوورومیتان کې کاربن د پام وړ مثبت جزوي چارج لري چې د اضافي ایونیک ځانګړتیا په چمتو کولو سره د څلورو کاربن-فلورین بانډونو پیاوړتیا او لنډوي. ټیټرافلوورومیتان یو قوي شنه خونه ګاز دی.
ټیټرافلورومیتان ځینې وختونه د ټیټې تودوخې یخچال په توګه کارول کیږي. دا یوازې د الکترونیکي مایکرو فابریکېشن کې یا د اکسیجن سره په ترکیب کې د سیلیکون، سیلیکون ډای اکسایډ، او سیلیکون نایټرایډ لپاره د پلازما ایچنټ په توګه کارول کیږي.
| کیمیاوي فورمول | سي ایف ۴ | مالیکولي وزن | 88 |
| د CAS نمبر. | د 75-73-0 معرفي کول | د EINECS شمیره | د 200-896-5 معرفي کول |
| د ویلې کېدو نقطه | -۱۸۴ ℃ | د بولنګ نقطه | -۱۲۸.۱ ℃ |
| محلولیت | په اوبو کې نه حل کېدونکی | کثافت | ۱.۹۶ ګرامه/سانتي متره³ (-۱۸۴ ℃) |
| بڼه | یو بې رنګه، بې بویه، غیر سوځیدونکی، فشار وړ ګاز | غوښتنلیک | د مختلفو مدغم سرکټونو لپاره د پلازما ایچنګ پروسې کې کارول کیږي، او همدارنګه د لیزر ګاز، یخچال او نورو په توګه کارول کیږي. |
| د DOT ID شمیره | د ملګرو ملتونو ۱۹۸۲ | د DOT/IMO بار وړلو نوم: | ټیټرافلورومیتان، فشار شوی یا یخچال ګاز R14 |
| د DOT خطر طبقه | ټولګي ۲.۲ |
| توکي | ارزښت، لومړۍ درجه | ارزښت، دوهمه درجه | واحد |
| پاکوالی | ≥۹۹.۹۹۹ | ≥۹۹.۹۹۹۷ | % |
| O2 | ≤۱.۰ | ≤0.5 | پی پی ایم وی |
| N2 | ≤۴.۰ | ≤۱.۰ | پی پی ایم وی |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | پی پی ایم وی |
| CO2 | ≤۱.۰ | ≤0.5 | پی پی ایم وی |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | پی پی ایم وی |
| نور فلورو کاربنونه | ≤۱.۰ | ≤0.5 | پی پی ایم وی |
| H2O | ≤۱.۰ | ≤0.5 | پی پی ایم وی |
| H2 | ≤۱.۰ | —— | پی پی ایم وی |
| تیزابیت | ≤0.1 | ≤0.1 | پی پی ایم وی |
| *نور فلورو کاربنونه C ته اشاره کوي2F6ج3F8 | |||
یادښتونه
۱) پورته ذکر شوي ټول تخنیکي معلومات ستاسو د حوالې لپاره دي.
۲) بدیل مشخصات د نورو بحثونو لپاره ښه راغلاست دي.
