Tetrafluorometanul, cunoscut și sub numele de tetrafluorură de carbon, este cel mai simplu fluorocarbon (CF4). Are o putere de legătură foarte mare datorită naturii legăturii carbon-fluor. Poate fi clasificat și ca haloalcan sau halometan. Datorită multiplelor legături carbon-fluor și a celei mai mari electronegativități a fluorului, carbonul din tetrafluorometan are o sarcină parțială pozitivă semnificativă, care întărește și scurtează cele patru legături carbon-fluor, oferind un caracter ionic suplimentar. Tetrafluorometanul este un gaz cu efect de seră puternic.
Tetrafluorometanul este uneori utilizat ca agent frigorific la temperatură joasă. Este utilizat în microfabricarea electronicelor, singur sau în combinație cu oxigen, ca agent de corodare cu plasmă pentru siliciu, dioxid de siliciu și nitrură de siliciu.
Formula chimică | CF4 | Greutate moleculară | 88 |
Nr. CAS | 75-73-0 | Nr. EINECS | 200-896-5 |
Punct de topire | -184℃ | Punct de fierbere | -128,1℃ |
solubilitate | Insolubil în apă | Densitate | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
Aspect | Un gaz incolor, inodor, neinflamabil și compresibil | Aplicație | utilizat în procesul de gravare cu plasmă pentru diverse circuite integrate și, de asemenea, ca gaz laser, agent frigorific etc. |
Număr de identificare DOT | ONU1982 | NUME DE TRANSPORT DOT/IMO: | Tetrafluorometan, gaz comprimat sau refrigerant R14 |
Clasa de pericol DOT | Clasa 2.2 |
Articol | Valoare, gradul I | Valoare, gradul II | Unitate |
Puritate | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Alte fluorocarburi | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Aciditate | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*alte fluorocarburi se referă la C2F6C.3F8 |
Note
1) toate datele tehnice indicate mai sus sunt cu titlu de referință.
2) O specificație alternativă este binevenită pentru discuții suplimentare.