Izdelki
Ogljikov tetrafluorid
Tetrafluorometan, znan tudi kot ogljikov tetrafluorid, je najpreprostejši fluoroogljik (CF4). Zaradi narave vezi ogljik-fluor ima zelo visoko vezno moč. Lahko ga uvrstimo tudi med haloalkane ali halometane. Zaradi več vezi ogljik-fluor in najvišje elektronegativnosti fluora ima ogljik v tetrafluorometanu pomemben pozitivni delni naboj, ki krepi in skrajša štiri vezi ogljik-fluor, tako da mu zagotavlja dodaten ionski značaj. Tetrafluorometan je močan toplogredni plin.
Tetrafluorometan se včasih uporablja kot nizkotemperaturno hladilno sredstvo. Uporablja se v mikrofabrikaciji elektronike sam ali v kombinaciji s kisikom kot plazemsko jedkalno sredstvo za silicij, silicijev dioksid in silicijev nitrid.
| Kemijska formula | CF4 | Molekulska teža | 88 |
| Št. CAS | 75-73-0 | Št. EINECS | 200-896-5 |
| Tališče | -184℃ | Točka vrenja | -128,1 ℃ |
| topnost | Netopen v vodi | Gostota | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Videz | Brezbarven, brez vonja, nevnetljiv, stisljiv plin | Uporaba | uporablja se v procesu plazemskega jedkanja za različna integrirana vezja, uporablja pa se tudi kot laserski plin, hladilno sredstvo itd. |
| Identifikacijska številka DOT | ZN1982 | IME ZA DOSTAVO DOT/IMO: | Tetrafluorometan, stisnjen ali hladilni plin R14 |
| Razred nevarnosti DOT | Razred 2.2 |
| Predmet | Vrednost, I. stopnja | Vrednost, II. razred | Enota |
| Čistost | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Drugi fluoroogljiki | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kislost | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *drugi fluoroogljiki se nanašajo na C2F6C3F8 | |||
Opombe
1) Vsi zgoraj navedeni tehnični podatki so zgolj informativne narave.
2) alternativna specifikacija je dobrodošla za nadaljnjo razpravo.
