Производи
Угљен-тетрафлуорид
Тетрафлуорометан, такође познат као угљен-тетрафлуорид, је најједноставнији флуороугљеник (CF4). Има веома високу чврстоћу везе због природе везе угљеник-флуор. Такође се може класификовати као халоалкан или халометан. Због вишеструких веза угљеник-флуор и највеће електронегативности флуора, угљеник у тетрафлуорометану има значајно позитивно парцијално наелектрисање које јача и скраћује четири везе угљеник-флуор пружајући додатни јонски карактер. Тетрафлуорометан је снажан гас стаклене баште.
Тетрафлуорометан се понекад користи као расхладно средство на ниским температурама. Користи се у микропроизводњи електронике сам или у комбинацији са кисеоником као плазма средство за нагризање силицијума, силицијум диоксида и силицијум нитрида.
| Хемијска формула | CF4 | Молекуларна тежина | 88 |
| CAS број | 75-73-0 | EINECS бр. | 200-896-5 |
| Тачка топљења | -184℃ | Болингова тачка | -128,1℃ |
| растворљивост | Нерастворљиво у води | Густина | 1,96 г/цм³ (-184 ℃) |
| Изглед | Безбојан, без мириса, незапаљив, компресибилан гас | Примена | користи се у процесу плазма нагризања за разна интегрисана кола, а користи се и као ласерски гас, расхладно средство итд. |
| DOT ИД број | УН1982 | DOT/IMO НАЗИВ ЗА ИСПОРУКУ: | Тетрафлуорометан, компримовани или расхладни гас R14 |
| Класа опасности DOT-а | Класа 2.2 |
| Ставка | Вредност, I степен | Вредност, II степен | Јединица |
| Чистоћа | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ппмв |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ппмв |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ппмв |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ппмв |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ппмв |
| Остали флуороугљеници | ≤1,0 | ≤0,5 | ппмв |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ппмв |
| H2 | ≤1,0 | —— | ппмв |
| Киселост | ≤0,1 | ≤0,1 | ппмв |
| *остали флуороугљеници се односе на C2F6Ц3F8 | |||
Белешке
1) сви горе наведени технички подаци су за вашу референцу.
2) алтернативна спецификација је добродошла за даљу дискусију.
