Produkter
Koltetrafluorid
Tetrafluormetan, även känt som koltetrafluorid, är det enklaste fluorkolvätet (CF4). Det har en mycket hög bindningsstyrka på grund av kol-fluorbindningens natur. Det kan också klassificeras som en haloalkan eller halometan. På grund av de multipla kol-fluorbindningarna och fluorens högsta elektronegativitet har kolet i tetrafluormetan en betydande positiv partiell laddning som stärker och förkortar de fyra kol-fluorbindningarna genom att ge ytterligare jonkaraktär. Tetrafluormetan är en potent växthusgas.
Tetrafluormetan används ibland som ett lågtemperaturkylmedel. Det används i elektronikmikrotillverkning ensamt eller i kombination med syre som plasmaetsmedel för kisel, kiseldioxid och kiselnitrid.
| Kemisk formel | CF4 | Molekylvikt | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS-nr. | 200-896-5 |
| Smältpunkt | -184℃ | Bolingpunkt | -128,1 ℃ |
| löslighet | Olöslig i vatten | Densitet | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Utseende | En färglös, luktfri, icke-brandfarlig, kompressibel gas | Ansökan | Används i plasmaetsningsprocesser för olika integrerade kretsar, och används även som lasergas, kylmedel etc. |
| DOT-ID-nummer | FN1982 | DOT/IMO-LEVERANSNAMN: | Tetrafluormetan, komprimerad gas eller kylgas R14 |
| DOT-riskklass | Klass 2.2 |
| Punkt | Värde, betyg I | Värde, betyg II | Enhet |
| Renhet | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andra fluorkolväten | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Aciditet | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andra fluorkolväten hänvisar till C2F6C3F8 | |||
Anteckningar
1) Alla tekniska data som anges ovan är endast för din referens.
2) Alternativa specifikationer är välkomna för vidare diskussion.
