สินค้า
คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์
เตตระฟลูออโรมีเทน หรือที่รู้จักกันในชื่อคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ เป็นฟลูออโรคาร์บอน (CF4) ที่ง่ายที่สุด มีความแข็งแรงพันธะสูงมากเนื่องจากลักษณะของพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีน นอกจากนี้ยังสามารถจำแนกได้เป็นเฮโลอัลเคนหรือเฮโลมีเทน เนื่องจากพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนหลายพันธะ และฟลูออรีนมีค่าอิเล็กโตรเนกาติวิตีสูงที่สุด คาร์บอนในเตตระฟลูออโรมีเทนจึงมีประจุบวกบางส่วนอย่างมีนัยสำคัญ ซึ่งช่วยเพิ่มความแข็งแรงและลดความยาวของพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนทั้งสี่พันธะ โดยเพิ่มคุณสมบัติไอออนิก เตตระฟลูออโรมีเทนเป็นก๊าซเรือนกระจกที่มีศักยภาพสูง
บางครั้งเตตระฟลูออโรมีเทนใช้เป็นสารทำความเย็นอุณหภูมิต่ำ มักใช้ในงานไมโครแฟบริเคชันอิเล็กทรอนิกส์เพียงอย่างเดียวหรือใช้ร่วมกับออกซิเจนเป็นสารกัดพลาสมาสำหรับซิลิกอน ซิลิกอนไดออกไซด์ และซิลิกอนไนไตรด์
| สูตรเคมี | ซีเอฟ4 | น้ำหนักโมเลกุล | 88 |
| หมายเลข CAS | 75-73-0 | หมายเลข EINECS | 200-896-5 |
| จุดหลอมเหลว | -184℃ | จุดโบลิง | -128.1℃ |
| ความสามารถในการละลาย | ไม่ละลายน้ำ | ความหนาแน่น | 1.96 กรัม/ซม.³（-184℃） |
| รูปร่าง | ก๊าซไม่มีสี ไม่มีกลิ่น ไม่ติดไฟ และอัดได้ | แอปพลิเคชัน | ใช้ในกระบวนการกัดพลาสม่าสำหรับวงจรรวมต่างๆ และยังใช้เป็นก๊าซเลเซอร์ สารทำความเย็น เป็นต้น |
| หมายเลขประจำตัว DOT | ยูเอ็น1982 | ชื่อการจัดส่ง DOT/IMO: | เตตระฟลูออโรมีเทน ก๊าซอัดหรือก๊าซทำความเย็น R14 |
| ระดับอันตรายของ DOT | ชั้น 2.2 |
| รายการ | ค่าเกรด 1 | ค่าเกรด 2 | หน่วย |
| ความบริสุทธิ์ | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | พีพีเอ็มวี |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | พีพีเอ็มวี |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | พีพีเอ็มวี |
| ฟลูออโรคาร์บอนอื่นๆ | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| H2 | ≤1.0 | - | พีพีเอ็มวี |
| ความเป็นกรด | ≤0.1 | ≤0.1 | พีพีเอ็มวี |
| *ฟลูออโรคาร์บอนอื่นๆ หมายถึง C2F6ซี3F8 | |||
หมายเหตุ
1) ข้อมูลทางเทคนิคทั้งหมดที่ระบุไว้ข้างต้นมีไว้สำหรับการอ้างอิงของคุณ
2) ข้อกำหนดทางเลือกอื่น ๆ เป็นที่ยินดีสำหรับการหารือเพิ่มเติม
