Ürünler
Karbon Tetraflorür
Karbon tetraflorür olarak da bilinen tetraflorometan, en basit florokarbondur (CF4). Karbon-flor bağının yapısı nedeniyle çok yüksek bir bağlanma kuvvetine sahiptir. Ayrıca haloalkan veya halometan olarak da sınıflandırılabilir. Çoklu karbon-flor bağları ve florun en yüksek elektronegatifliği nedeniyle, tetraflorometandaki karbon, dört karbon-flor bağını güçlendiren ve kısaltan, ek iyonik karakter sağlayan önemli bir pozitif kısmi yüke sahiptir. Tetraflorometan güçlü bir sera gazıdır.
Tetraflorometan bazen düşük sıcaklıkta soğutucu olarak kullanılır. Elektronik mikrofabrikasyonda tek başına veya oksijenle birlikte silisyum, silisyum dioksit ve silisyum nitrür için plazma aşındırıcı olarak kullanılır.
| Kimyasal formül | CF4 | Moleküler ağırlık | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Erime noktası | -184℃ | Kaynama noktası | -128.1℃ |
| çözünürlük | Suda çözünmez | Yoğunluk | 1,96 g/cm³（-184℃） |
| Dış görünüş | Renksiz, kokusuz, yanıcı olmayan, sıkıştırılabilir bir gaz | Başvuru | Çeşitli entegre devrelerin plazma aşındırma işlemlerinde kullanılır, ayrıca lazer gazı, soğutucu vb. olarak da kullanılır. |
| DOT Kimlik Numarası | BM1982 | DOT/IMO KARGO ADI: | Tetraflorometan, Sıkıştırılmış veya Soğutucu Gaz R14 |
| DOT Tehlike Sınıfı | Sınıf 2.2 |
| Öğe | Değer, derece I | Değer, derece II | Birim |
| Saflık | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Diğer florokarbonlar | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Asitlik | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *diğer florokarbonlar C'ye atıfta bulunur2F6,C3F8 | |||
Notlar
1) Yukarıda belirtilen tüm teknik veriler referans amaçlıdır.
2) Daha detaylı tartışma için alternatif spesifikasyonlara açığız.
