Tetraflorometan, shuningdek, uglerod tetraflorid sifatida ham tanilgan, eng oddiy florokarbondir (CF4). U uglerod-ftor aloqasining tabiati tufayli juda yuqori bog'lanish kuchiga ega. Bundan tashqari, uni haloalkan yoki halometan sifatida tasniflash mumkin. Ko'p uglerod-ftor aloqalari va ftorning eng yuqori elektr manfiyligi tufayli tetraflorometan tarkibidagi uglerod qo'shimcha ion xarakterini ta'minlash orqali to'rtta uglerod-ftor aloqasini mustahkamlaydigan va qisqartiradigan sezilarli musbat qisman zaryadga ega. Tetraflorometan kuchli issiqxona gazidir.
Tetraflorometan ba'zan past haroratli sovutgich sifatida ishlatiladi. U elektronika mikrofabrikasida yakka o'zi yoki kislorod bilan birgalikda kremniy, kremniy dioksidi va kremniy nitridi uchun plazma oqartiruvchi sifatida ishlatiladi.
Kimyoviy formula | CF4 | Molekulyar og'irlik | 88 |
CAS raqami. | 75-73-0 | EINECS raqami. | 200-896-5 |
Erish nuqtasi | -184℃ | Boling nuqtasi | -128,1 ℃ |
eruvchanligi | Suvda erimaydi | Zichlik | 1,96 g/sm³ (-184 ℃) |
Tashqi ko'rinish | Rangsiz, hidsiz, yonmaydigan, siqiladigan gaz | Ilova | Turli integral mikrosxemalar uchun plazma bilan ishlov berish jarayonida qo'llaniladi, shuningdek lazer gazi, sovutgich va boshqalar sifatida ishlatiladi. |
DOT ID raqami | UN1982 | DOT/IMO YUKLASH NOMI: | Tetraflorometan, siqilgan yoki sovutgichli gaz R14 |
DOT xavf klassi | Sinf 2.2 |
Element | Qiymat, I daraja | Qiymat, II daraja | Birlik |
Poklik | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Boshqa florokarbonlar | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Kislotalik | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*boshqa ftoruglerodlar C ga tegishli2F6、C3F8 |
Eslatmalar
1) yuqorida ko'rsatilgan barcha texnik ma'lumotlar sizning ma'lumotingiz uchun.
2) muqobil spetsifikatsiya keyingi muhokama uchun qabul qilinadi.