Các sản phẩm
Cacbon Tetraflorua
Tetrafluoromethane, còn được gọi là carbon tetrafluoride, là fluorocarbon đơn giản nhất (CF4). Nó có độ bền liên kết rất cao do bản chất của liên kết carbon-flo. Nó cũng có thể được phân loại là haloalkane hoặc halomethane. Do có nhiều liên kết carbon-flo và độ âm điện cao nhất của flo, carbon trong tetrafluoromethane có điện tích một phần dương đáng kể, giúp tăng cường và rút ngắn bốn liên kết carbon-flo bằng cách cung cấp thêm tính chất ion. Tetrafluoromethane là một loại khí nhà kính mạnh.
Tetrafluoromethane đôi khi được sử dụng làm chất làm lạnh nhiệt độ thấp. Nó được sử dụng riêng lẻ hoặc kết hợp với oxy trong chế tạo vi mạch điện tử như một chất khắc plasma cho silicon, silicon dioxide và silicon nitride.
| Công thức hóa học | CF4 | Trọng lượng phân tử | 88 |
| Số CAS | 75-73-0 | Số EINECS | 200-896-5 |
| Điểm nóng chảy | -184℃ | Điểm Boling | -128,1℃ |
| độ hòa tan | Không tan trong nước | Tỉ trọng | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Vẻ bề ngoài | Một loại khí không màu, không mùi, không bắt lửa, có thể nén được | Ứng dụng | được sử dụng trong quá trình khắc plasma cho nhiều mạch tích hợp khác nhau và cũng được sử dụng làm khí laser, chất làm lạnh, v.v. |
| Số ID DOT | Liên Hợp Quốc 1982 | TÊN GIAO HÀNG DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, Khí nén hoặc khí lạnh R14 |
| Lớp nguy hiểm DOT | Lớp 2.2 |
| Mục | Giá trị, cấp I | Giá trị, cấp II | Đơn vị |
| Độ tinh khiết | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Các loại flocacbon khác | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Độ axit | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *các fluorocarbon khác đề cập đến C2F6,C3F8 | |||
Ghi chú
1) Tất cả dữ liệu kỹ thuật nêu trên chỉ để bạn tham khảo.
2) hoan nghênh các thông số kỹ thuật thay thế để thảo luận thêm.
